精密离子打薄机PIPS-永续能源与奈米科技研究中心-中兴大学.DOC

國立中興大學奈米科技中心 精密離子打薄機管理辦法及執照取得辦法 儀器規格 儀器中文名稱：精密離子打薄機。 儀器英文名稱：PRECISION ION POLISHING SYSTEM。 廠牌及型號：Gatan Model 691。 離子束能量：2 KeV to 6 KeV。 打薄角度：+10° to -10°。 離子束直徑：350 μm FWHM at 5 KeV to 800 μm for Broad Beam。 離子電流密度：10 mA/cm2 Peak。 試片尺寸：直徑3 mm。 試片旋轉：1 to 6 rpm。 Single or double sector for exceptional cross-sectioning。 Dry Pumping System Molecular drag pump backed by a 2-Stage diaphragm pump, 5E-6 Torr 背壓，8E-5 Torr 操作。 儀器性能：利穿透式電子顯微鏡觀察用，除了高分子材料及高揮發性或低耐熱性材料外，其餘固態材料均適用。 開放時段 　 一 二 三 四 五 9:00~12:00 儀器維護 執照操作 執照操作 執照操作 執照操作 午休 14:00~17:00 執照操作 執照操作 執照操作 執照操作 儀器維護 注意事項 高分子與高揮發性試片等因有礙PIPS儀器腔體之維護，本中心恕不服務。 試片表面不可有任何熱熔膠或AB膠或G1膠。 操作時 ION BEAM MODULATOR 不可以切到 OFF。 最小離子打薄角度不可小於 4°。 ION GUN GAS FLOW CONTROL 上的任何開關或旋鈕勿動。 關 ROTATION 及 ION GUN 時，不要切到 OFF，只要轉到底即可。 收費方式 精密離子打薄機(PIPS)收費方式 收費別 校內執照使用者 校內使用者 外校使用者 產業檢測 說明 時段費 200 400 500 1200 四小時為一時段，未滿一時段以一時段計費。 檢測方式 有操作執照者，請至奈米中心辦公室直接進行預約。 無操作執照者，請向有操作執照者預約後，再至奈米中心辦公室預約時段。(操作執照者名單將會公佈在理學大樓一樓 核心實驗室之公佈欄) 註：為儀器安全考量，目前夜間、週六、日及國定假日，暫不對外開放。 執照取得 操作資格： 學術研究單位人員。 訓練辦法： 學習本儀器之學員，告知管理員後，經資格審核完成，方得以進行訓練。如有學習上等問題亦可提出，以作為提升學員學習品質的控管。 以執照操作者為教學導師，任何有執照操作資格者，將有責任進行教學(操作執照者名單將會公佈在理學大樓一樓 核心實驗室之公佈欄)。 由擁有執照操作資格的使用者教導，訓練時須由教導者於使用紀錄本上登記簽名。 學習本儀器之學員，需見習5次以上，且無任何不良記錄者，方可參加儀器的檢定考試。考核通過後即可預約執照操作時段。 資格取消： 取得執照之使用者若於六個月內未曾使用本儀器，則需要重新考取執照。 操作過程中遇問題，請盡速聯絡儀器操作員，並詳填使用記錄，若因人為操作不當致使儀器故障，視情況嚴重性取消資格，並負賠償責任。 檢定考試： 檢定考試通過之後，即具有儀器操作執照，可預約星期一到星期五上班時間(9:00~17:00)之執照操作時段。 若三次考試內無法通過則永久失去考試資格。 儀器保養： 使用者有義務協助儀器之保養維護工作(例如：停電後再開機、使用狀況記錄等)，飲料及食物嚴禁攜入實驗室，以保持實驗室整潔。 六. 儀器管理者： 管 理 員：黃宣榕 先生 聯絡電話：04603 或0418 奈米中心 王慧貞小姐 傳 真：04E-mail： HYPERLINK mailto:g9766103@dragon.nchu.edu.tw g9766103@dragon.nchu.edu.tw 或 HYPERLINK mailto:cnn@dragon.nchu.edu.tw cnn@dragon.nchu.edu.tw 七. 管理辦法與修正： 本管理辦法就使用狀況需要而進行修正。