高精度平面绝对标定.PDFVIP

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2019-03-03 发布于天津
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激光与光电子学进展中国激光杂志社高精度平面绝对标定苗二龙苏东奇彭石军中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春摘要在高精度面形检测中绝对标定是提高检测精度的重要方法但在平面绝对标定中无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都无法对平面的项进行绝对标定而利用液面进行绝对标定虽然可以给出完整的平面标定但是液面易受环境影响重复性难以提高因此标定精度往往不高针对这一难题利用干涉仪采用液面方法对平面的项单独进行绝对标定结合旋转平移绝对标定方法对平面其他项进行标定从而得到了完整的高精度的平面绝对标