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铝制 高真空 型阀 RoHS
L
采用铝制主体 NewNew
• 均一的烤焙温度 • 轻量、紧凑 追加带电磁阀 电磁阀
• 气体溢出少 • 重金属污染少 规格
• 耐氟素气体腐蚀性强
可更换波纹管
□ 系列
(波纹管密封型) NewNew XL V
可更换波纹管组件，降低维护成本并减少废弃物。 高温型中追加了耐热型
双色显示式无触点磁性开关
(订制 P.18)
传感器部
放大器部
阀盖组件
波纹管组件
主体
XL□系列
CAT.CS140-8C
铝制 高真空 型阀 □系列
L XL
均一的烤焙温度
热传导率良好，整个主体温度均一，阀内气体冷凝后的生成物附着锐减。
KF25尺寸时的比较 120℃规格温度分布
140
e ・r ・t
e主体1 120
r主体2 ） 100
C
t主体3 ° 80
（
度
温 60 q ・w
40
加热器 w波纹管
20
q 阀
0
0 30 60 90
时间（分）
、
轻量 紧凑
主体小，流导大。耐氟素腐蚀性出色。
(主体)
XLA系列的场合
A※ B 重量 流导※
型号
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