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改善孔壁粗糙度 （上海美维电子有限公司 201600）杜晓平 张春生 殳伟 The Improvement of Roughness of Hole-wall Du Xiaoping Zhang Chunsheng ShuWei 1、项目简介： 孔粗是钻孔工序的重要控制项目，目前业内标准基本上定在≤30um，我司 目前的内部过程监控的标准是≤38um，由于客户对电气性能要求的提高，以及尖 端产品安全性能的要求，使得客户对样板孔粗的要求不断提高，例如OPC 定单中 许多高层背板的孔壁质量的要求≤25um，在这样的情势下，我们必须在现有的工 艺和控制方法的基础上做优化，以实现有能力稳定控制孔粗≤25um 的目标。 2．设定目标： 期望通过各Size 钻嘴的DOE 实验，找到关键因子和最佳水平，改善孔壁质量， 同时期望找到孔粗控制在1.0mil 下的参数因应孔粗≤25um 要求的板子。 3．缺陷示意图： 4．样本量测说明： 孔壁粗糙度,以平均值为样本，每一样本做4 个切片，每个切片6 个读数， 以um 为单位，共24 个数据，合并计算其平均值。 5．特性要因分析（鱼骨图） 备注：在现有的生产条件中 stack height(叠板数)，每次实验固定一台机器， 实验前保证vacuum （抽真空）在110-130hPa, 清洗夹头，选择动态Run-out 在 8um 以下并保持tape problem （胶带贴紧度）和 entry/backup （盖板/垫板 体系） 不变的情况下，考察 F （落速）、S(转速)、H(最大钻孔数)、R （钻咀翻 磨次数）、B(回刀速)和V(供应商)6 个因子。 6. 第一谐段实验配置和解析： 计划构想：安排从0.3mm,0.4mm,0.5mm,1.0mm 的实验，以考察不同尺寸钻咀 对应的最佳水平。 条件： 1、1.6mm L6； 2、叠板数：均为 两块一叠。 3、钻咀无特别注明则选用Union-tool; 4、钻孔完毕后至PPTH 后进行取样切片，每孔取最大值; 5、品质特性评估值为所有孔粗读数的均值。 1.0 0.3mm 钻嘴 1.1 因子水平设计：采用钻孔参数F,S,H,R,B 和V 为6 因子2 水平DOE 实验， 共16 次实验。 因子 F(ipm) S(krpm) H(hits) R(times) V B(ipm) 1 70 80 1000 0 Union-tool 200 2 90 96 2000 2 Tulon 1000 1.2 实验结果： RUN 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 Ave Max 1 25 25 30 20 25 25 30 30 25 35 25 30 30 30 35 28 35 2 30 25 30 30 30 25 35 25 30 25 25 25 25 35 30 28.3 35 3 25 25 25 20 20 25 25 25 25 25 20 25 30 20 25 24 30 4 25 30 35 25 25 30 25 30 30 35 30 25 25 25 25 28 35 5 30 30 30 35 25 35 30 35 30 35 30 30 25 35 35 31.3 35 6 30 30 25 25 30 30 25 30 30 35 25 25 30 30 30 28.7 35 7 35 30 30 35 2