磁控溅射参数对牦狉犜犻犗3基片上沉积犊犐犌-陕西师范大学学报.PDF

第 卷 第 期 陕西师范大学学报（自然科学版） ４５ ５ Ｖｏｌ．４５ Ｎｏ．５ 　 　 年 月 （ ） ， ２０１７ ９ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｈａａｎｘｉＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ Ｓｅ． ２０１７ 　 ｙ ｐ 　 文章编号： （ ） ： ／ １６７２４２９１２０１７０５００２３０７ 犱狅犻１０．１５９８３ ．ｃｎｋｉ．ｓｎｕ．２０１７．０５．２５１