硅系合金法提纯多晶硅的研究进展-Core.PDF

／ · · 硅 系合金 法提 纯多 晶硅 的研究进展 吴 浩等 ３７ 　 硅系合金法提 纯 多晶硅的研究进展＊ ， ， ， ， ， 吴　 浩 黄平平 傅翠梨 张　 蓉 李锦堂 罗学涛 （ ， ） 厦 门大学材料学院材料科学与工程 系 厦 门 ３６１００５ 。 ， 摘要 硅 系合金