精密测量技术.pptx

概念一： 精密测量技术的主要发展方向： 1、新技术和新的测量原理的应用 2、高精度，如芯片测量精度1-10纳米 3、高速度 4、测量方式多样化 5、小型化、集成化、高灵敏、高分辨 6、标准化 7、实现各种溯源的要求 8、围绕微型机械设计理论展开的测量、理论分析工作;概念三：拟订测量方法时应考虑的问题;1、阿贝测长原则 在长度测量中，将被测量与标准量沿同一直线排列，即采用串联排列形式。;米等于光在真空中，在1/299 792 458秒的时间间隔内的行程长度 ;概念八：平面度最小包容区域法的准则;概念十：一米测长机的读数 见ppt及实验指导书——万能测长仪;（1）计算公式：;;（3）测量精度分析;测得：h=10.002mm, s=23.660mm;测量理论三：多面棱体分度角的相对测量法 多面棱体是一种高精度的角度计量标准器，它是以底面为定位基面的??棱体，带中心孔也可做定位用。 右图为用相对法测量多面棱体的示意图，定角为两精度相等的自准直仪光轴组成的夹角β 。β不要求已知，但在测量过程中应保持恒定，测量时将其依次与被测棱体各相邻工作面法线间的夹角φi进行比较。用自准直仪定位，自准直仪读数，共读得n个读数，则应有a1、a2…an、 则应有 ;实验一：在万工显上用影象法测量螺纹 ;牙形半角 测量牙形半角用对角线法，测出如图所示四个位置的半角实际值，测量顺序为Ⅰ -Ⅱ-Ⅲ-Ⅳ。 注意在牙形两侧测量时，分别向互为相反的方向倾斜Φ 角，还应注意角值读数显微镜中角度值的正负号。 ;实验二：量块检定（接触式干涉仪）;（5）测量数据处理 ;实验三：在万能测长仪上测量孔径