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Opto-Electronic Engineering Article 光 电 工 程 2018 年，第45 卷，第 10 期 DOI: 10.12086/oee.2018.180195 Grating (First order blaze 便携式紫外-可见光谱仪设计及 wavelength of 300 nm) 关键技术研究 Coated CCD Slit (TCD 1304 DG) Collimating 1 1,2* 1 1 1 mirror 王国栋 ，夏 果 ，李志远 ，胡明勇 ，陆红波 Focusing mirror 1 230009 2 230031 摘要：随着紫外光谱探测技术的广泛应用，低成本便携式紫外-可见光谱仪成为该领域的研究热点。本文首先依据交叉 型 Czerny-Turner 结构设计了便携式紫外光谱仪光路结构。其次，针对性研究了紫外光谱仪的关键器件：紫外探测器 和闪耀光栅。利用 Lumogen 荧光材料和蒸镀成膜法制作镀膜紫外增强CCD，并分析了荧光薄膜在CCD 表面的位置 对分辨率的影响；从理论上分析了闪耀光栅对于紫外波段的多级衍射效率的影响，确定了紫外光谱仪对于闪耀光栅的 选择。最后，研制的便携式紫外-可见光谱仪样机的性能测试结果表明，200 nm~900 nm 波段、25 μm 狭缝宽度、600 lp/mm、300 nm 闪耀光栅配置下分辨率整体小于1.5 nm，200 nm~300 nm 紫外波段的光谱响应度提高到20% ，实现 了便携式紫外-可见光谱仪的设计要求。 关键词：紫外-可见光谱仪；Lumogen 薄膜；紫外增强；CCD；闪耀光栅；光栅效率 中图分类号：TH744.1 文献标志码：A 引用格式：王国栋，夏果，李志远，等. 便携式紫外-可见光谱仪设计及关键技术研究[J]. 光电工程，2018 ，45(10)