热压烧结靶材制备氧化铟锌薄膜晶体管-物理化学学报.PDF

物理化学学报(Wuli Huaxue Xuebao) 2092 Acta Phys. -Chim. Sin. 2017, 33 (10), 2092−2098 October [Article] doi: 10.3866/PKU.WHXB201705114 热压烧结靶材制备氧化铟锌薄膜晶体管 * 宋二龙 兰林锋 林振国 孙 圣 宋 威 李育智 高沛雄 张 鹏 彭俊彪