光电仪器原理2010第十五周瞄准定位与微动机构.pdfVIP

瞄准定位与微动机构 内容提纲 • 瞄准定位方法 横向瞄准 • 接触式定位法 • 光学瞄准 • 光电瞄准：光电显微镜 纵向定位 • 象散法 • 临界角法 • 共焦法 • 微动机构 光电仪器原理课件 2 引言 • 什么是瞄准？ 汉语词典：为使子弹、炮弹打中目标，调整枪口、炮口的方位和 高低 测量仪器中：使物体与被瞄（对）准物体或其轮廓重合 • 为什么要瞄准 刻尺的瞄准读数 光刻系统中掩膜套刻，等 • 横向对准的极限精度 衍射极限 光电仪器原理课件 3 接触式瞄准：光学指零器 光源 聚光镜 • 光学杠杆微位 分划板 移放大原理 析光棱镜 测头微位移 分目 摆动反射镜 划镜 转角透镜焦 板 面上大位移 物镜 固定反射镜 摆动反射镜 • 自准直原理 反射镜放大 转角 测头 光电仪器原理课件 4 非接触瞄准：光学瞄准 • 光学瞄准 利用光学原理进行瞄准 组成：光学系统与人眼结合 • 人眼的特点 正常分辨力1角分左右 齐线率小于分辨率，故线线对准精度高于分辨力 光电仪器原理课件 5 非接触瞄准：光学瞄准 • 对线法 直接利用分划板上的刻线对物体（刻线或轮廓）进行瞄准 对线法瞄准精度（线性） δ α × 250 δ 5 (mm) α与对准方式有关 Γ 2 ×10 × Γ 5 α -人眼对准精度；250 mm- 明视距离；2×10 -角秒到弧度换算倍 数；Γ -显微镜放大倍数 (a)为二实线叠合，α ≈ 60″；(b)为二直线端部对准，α ≈ 10″~20″ ； (c)为双线对称跨单线，α ≈ 5″ ~10″ ；(d)为虚线对实线，α ≈ 20″ 光电仪器原理课件