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透射电子显微镜成象原理与图象解释 苏 玉 长 苏 玉 长 金相显微镜及扫描电镜均只能观察物质表面 的微观形貌，它无法获得物质内部的信息。而 透射电镜由于入射电子透射试样后，将与试样 内部原子发生相互作用，从而改变其能量及运 动方向。显然，不同结构有不同的相互作用。 这样，就可以根据透射电子图象所获得的信息 来了解试样内部的结构。由于试样结构和相互 作用的复杂性，因此所获得的图象也很复杂。 它不象表面形貌那样直观、易懂。 苏 玉 长 苏 玉 长 因此，如何对一张电子图象获得的信息作出 正确的解释和判断，不但很重要，也很困难。 必须建立一套相应的理论才能对透射电子象作 出正确的解释。如前所述电子束透过试样所得 到的透射电子束的强度及方向均发生了变化， 由于试样各部位的组织结构不同，因而透射到 荧光屏上的各点强度是不均匀的，这种强度的 不均匀分布现象就称为衬度，所获得的电子象 称为透射电子衬度象。 其形成的机制有两种： 苏 玉 长 苏 玉 长 1.相位衬度 如果透射束与衍射束可以重新组合，从而保持它们的 振幅和位相，则可直接得到产生衍射的 那些晶面的晶格象，或者一个个原子的晶体结构象。 仅适于很薄的晶体试样(≈100Å)。 2. 振幅衬度 振幅衬度是由于入射电子通过试样时，与试样内原子 发生相互作用而发生振幅的变化，引起反差。振幅衬 度主要有质厚衬度和衍射衬度两种： 苏 玉 长 苏 玉 长 ① 质厚衬度 由于试样的质量和厚度不同，各部分对入射电 子发生相互作用，产生的吸收与散射程度不 同，而使得透射电子束的强度分布不同，形成 反差，称为质-厚衬度。 ②衍射衬度 衍射衬度主要是由于晶体试样满足布拉格反射 条件程度差异以及结构振幅不同而形成电子图 象反差。它仅属于晶体结构物质，对于非晶体 试样是不存在的。 苏 玉 长 苏 玉 长 第一节质厚衬度原理 由于质厚衬度来源于入射电子与试样物质发 生相互作用而引起的吸收与散射。由于试样很 薄，吸收很少。衬度主要取决于散射电子（吸 收主要取于厚度，也可归于厚度），当散射角 大于物镜的孔径角α时,它不能参与成象而相应 地变暗.这种电子越多,其象越暗.或者说,散射本 领大,透射电子少的部分所形成的象要暗些,反 之则亮些 . 苏 玉 长 苏 玉 长 • 对于透射电镜试样, 由于样品较厚，则质厚衬度 可近似表示为: G = N( δ ρt /A - δ ρt /A ) (4-1) ρt 02 2 2 2 01 1 1 1 其中 δ . δ 原子的有效散射截面 02 01 A . A 试样原子量 2 1 ρ. ρ 样品密度 2 1 t2, t1 试样厚度 N 阿佛加德罗常数 苏 玉 长 苏 玉 长 • 对于复型试样 σ = σ A =A ρ= ρ 02 01 1 2 1 2 则有G = N( δρ(t -t ) /A) ρt 0 2 1 = N ( δρ△t /A ) (4-2) 0 即复型试样的质厚衬度主要取决于厚度, 对于常数复型,则其衬度差由式(4-1)决定, 即由质量与厚度差共同决定,故(4-1)称为