超高感度表面形状検査机-INPIT.PDF

平成18年度第2回特許ビジネス市in大阪 2006.12.6 超高感度表面形状検査機 株式会社 コアシステム 於 大阪国際交流センター大会議室 1 Core System Co.,Ltd. 株式会社コアシステム概要 ■ 設 立 ： 平成6年6月27 日 ■ 代表取締役： 小埜寺 正臣 ■ 本社所在地： 新潟県長岡市中島2丁目2番2号 ■ 事 業 所： 〒940-2135新潟県長岡市深沢町2085-16 ながおか新産業創造センター（NBIC)ラボ D ( 産学共同研究 ： 長岡技術科学大学液晶デバイス研究室：赤羽・木村研究室) Tel : 0258-46-6277 Fax : 0258-46-6387 e-mail : sales@csys.jp URL : http://www.csys.jp ■ 資 本 金 ： ¥54,000,000 円 （平成18年7月） ■ 従 業 員 ： 4名 2 Core System Co.,Ltd. コアシステムのソリューション提案 レーザ光走査により広範囲の表面形状を 超高感度ナノレベルで超高速検査 ハードディスク 表面形状：粗さ・ウネリ 半導体ウエハ 表面欠陥：キズ・汚れ 液晶・FPDパネル 表面異物：パーティクル 機能性フイルム コーティング膜表面形状 電子部品 など 超高感度検出 光学部品 精密加工部品 デジタルデータ＆ ３D画像表示 3 測定機本体 X-Y-Θｽﾃｰｼﾞﾓｰﾀｺﾝﾄﾛｰﾗ ﾓﾆﾀ 平成１６年度に開発した装置 Scanning Laser Imaging Scope “CSM02” CSM02 検査機外観 ﾜｰｸ投入扉 制御盤 4 ﾊﾟｿｺﾝ 基 本 原 理 レーザ 近似: θ 1 df (x) tanθ≈θ Pにおいて 入射光 dx 反射光