利用光束质量分仪测量M2.docxVIP

图1激光束及通过聚焦透镜的光束特性 2.光束传播特性参数 M2，即光束质量因子，表示激光束与基模TEM00接近程度的量。该参数与激光能够聚焦的最小点尺寸密切相关。对于在空间中传播的光束，未聚焦的基模TEM00高斯光束的发散角θ00可以表示为： θ00=4λ/πD00 其中D00是光束束腰直径，λ为波长。实际光束通常含有其它模式，导致更大的束腰D0，更大的发散角θ0，在这种情况下有： θ0=M24λ/πD0 θ0和D0分别为高阶模的发散角和束腰宽度，M2大于1并且依据ISO11146标准命名为“光束传播比例”。当一束纯高斯光束被聚焦后，聚焦点直径为： d00=4λf/πD00 其中D00是理想聚焦点直径，f为透镜焦距，如图1所示，聚焦点在透镜后1个焦距的长度的位置上。然而，如果是一个存在畸变的或者多模的光束聚焦后，聚焦点直径为： d0=M24λf/πD0 除M2之外，还可获得其它光束传播特性参数： w0=d0/2—在x轴（水平）和y轴（垂直）方向上的束腰半径； z-z0—测量平面和束腰平面之间的距离； zR—瑞利长度，波前曲率半径为最小值时的长度； θ—远离束腰的远场发散角； R—测量平面处的波前曲率半径； 3.用数字波前照相机测量光束传播参数 3.1原理 将一个已知焦距的透镜放在固定位置上，光束通过它聚焦进行一次高斯变换，束腰和发散角发生变化，用数字波前照相机可对该光束的传播特性