纳米压痕技术理论基础-机械工程学报.PDFVIP

第39 卷第3 期 机 械 工 程 学 报 Vol.39 No.3 2 0 0 3 年 3 月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Mar. 2 0 0 3 纳米压痕技术理论基础 黎 明 温诗铸 (清华大学精密仪器系摩擦学国家重点实验室 北京 100084) 摘要 针对纳米压痕技术的应用现状和存在的问题 分析了现有理论研究方法以及它们的不足之处 在纳米压痕 试验的基础上 提出了微硬度的新定义并根据量纲分析方法给出了微硬度的表达式 结果表明纳米尺度上的微硬 度可以表达为一个与压入深度无关的常量和一个随压入深度减小而增大的分量 这为深入研究纳米压痕技术及纳 米硬度的尺寸效应提供了简单易行的新方法 关键词 纳米压痕技术 应变梯度 微硬度 弹性模量 接触力学 中图分类号 TH117 硬度H 和弹性模量E 可分别由下式求出 * 0 前言 Fmax H (1) A 纳米压痕技术目前广泛应用于微机电系统中微 1−ν2 1−ν2 Er + i (2) E E 构件 薄膜涂层 特殊功能材料和生物组织等的力 i 学性能研究 但目前的研究多集中在新材料和薄膜/ S dP 2 E r A (3) 基体组合系统的试验研究方面 即通过试验结果的 dh π 分析来确定材料的力学性能及其应用范围 随着研 式中 Fmax 最大压入载荷 究的深入 人们迫切需要知道材料的微观组织结构 A 压痕的投影面积 与它们宏观力学性能之间的联系 并希望以此来指 S 卸载曲线上端部的斜率 导新材料的设计 例如 载荷-压入曲线好比材料的 Er 当量弹性模量 指纹 (Fingerprint) 从它可以获取材料的内在信 E 被测材料的弹性模量 息 如通过对压头载荷随压入深度变化规律的研究 可以了解材料的微观组织抵抗外力变形的能力 因 此 研究人员一直都在试图将材料的宏观力学性能 与材料的内在微观特征参数结合起来 架起宏观与 微观之间的桥梁 这也是当前材料科学研究的前沿 和研究热点之一 1 纳米压痕技术的理论方法 材料的微观力学性能(主要是弹性模量和硬度) 的理论研究主要有以下几种方法 图1 纳米压痕试验中载荷与压深的关系 1.1 经典力学方法(Oliver 和Pharr 方法) 该方法由Oliver 和Pharr [1]发表于1992 年 是 目前使用最广的方法 也是当前市场上主要的商业 化纳米硬度计中所设置的计算方法 如美国NANO 仪器公司 Hysitron 仪器公司以及瑞士CSEM 仪器 公司生产的纳米硬度计均采用该方法 如图1 和图2 所示 按照经典的弹塑性变形理 论[2] 中关于硬度和弹性模量的定义 被测试材料的 2002