北京工业大学现代传感及检测技术.pptVIP

基础楼605 liuzenghua@bjut.edu.cn 2015年11月12日 ;一、绪论;（一）现代传感技术;目录;一、概述;现代传感器技术发展的必要性及其动态 ;目前，我国在工业上应用的大多数传感器技术存在很多不足。为使产品在市场中更具竞争力，在开发及采用新型仪表和控制技术同时，也应对传感器技术的开发予以高度重视。 全美电站有关统计数据表明，改进、优化过程传感器与仪表能改善电站热效率达1%，每年节约约3亿美元。另外，采用先进传感器与仪表若使设备利用率提高1%的话，每年可节约约30亿美元。 ;人类已进入信息时代，获取信息是利用信息的先决条件。通过传感器获得的信息正确与否直接关系到整个测量或控制系统的成败与精度，因此，在检测系统中占有十分重要的位置。 新效应、新材料、新工艺的出现，促进新型传感器的问世。;二、现代传感器的定义;定义包含以下几方面的含义： 传感器是测量装置，能完成检测任务， 在检测系统中，传感器是必备装置。 它的输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等； 它的输出量是某种物理量，这种量要便于传输、转换、处理、显示等，这种量可以是气、光、电量； 输出输入有对应关系，且应有一定的精确程度。;传感器的构成：;随着集成电路制造技术的发展，现在已能把一些处理电路和传感器集成在一起，购车功能集成传感器。进一步的发展是将传感器和微处理器相结合，装在一个检测器中形成了一种新型“智能传感器”。它将具有一定的信号调理、信号分析、环境适应等能力，甚至具有一定的辨认、识别、判断的功能。;二、传感技术的发展方向;(1) 发现并利用新现象与新效应利用物理现象、化学反应和生物效应是各种传感器工作的基本原理，发现新现象与新效应是传感器技术发展的重要工作，是研究开发新型传感器的基础。例如，利用超导技术;(1) 发现并利用新现象与新效应（续）据报道，美国国立实验室的研究人员正在研制变色传感器，当存在目标物质时传感器由蓝色变成红色。 参照细胞膜的模型，可针对一种特定的生物目标设计传感器。一旦识别出目标物质，膜将由蓝色变成红色，提示有目标物质存在。;钱永健(Roger Yonchien Tsien) ;(2) 利用新材料 传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学的进步，人们可制造出各种新型传感器。以下三个方向： A 在已知的材料中探索新现象、效应和反应，然后使他们能在传感器技术中得到实际应用； B 探索新材料，应用那些已知现象、效应和反应来改进传感器技术； C 在研究新型材料的基础上，探索新现象、新效应和新反应，并在传感器技术中加以实施。;近年来，对传感器材料的开发研究有了较大进展，主要发展趋势如下： A 单晶体到多晶体、非晶体； B 单一型材料到复合材料； C 原子（分子）型材料的人工合成。 现代传感器制造业的发展取决于传感器技术的新材料和敏感元件的开发。传感器开发的基本趋势和半导体以及介质材料的应用密切关联。;目前人们已在采用硅或金属和非金属合成的化合物半导体等敏感材料、陶瓷材料、非晶化或薄膜化磁性材料和智能材料(包括生物体材料、形状记忆合金、形状记忆陶瓷和形状记忆聚合物等)等来研制传感器。例如：等离子聚合法聚苯乙烯薄膜湿度传感器测湿范围宽、使用温度范围可达-400~1500℃、响应速度快(小于1s)，且其尺寸小，可用于小空间测湿。;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所报道了一种新型柔性可穿戴仿生触觉传感器—人造仿生电子皮肤。 以丝绸为模板方式，实现了具有微纳米结构薄膜的可控制备，并与自支撑单壁碳纳米管超薄膜结合，构筑了具有高灵敏度的柔性仿生电子皮肤，并将其应用于对脉搏、语音等人体生理信号的实时快速检测，通过对人体说话时喉部肌肉群运动产生的微弱压力变化及脉搏波形变化分析,推进了可穿戴设备在语音辅助输出系统、人体健康评价和疾病前期诊断方面的应用。;(3) 微型化、量子化拓广采用微细加工技术(包括离子束、电子束、分子束、激光束、化学刻蚀等微电子加工技术)制造各种新型传感器，如利用半导体技术制造出硅微传感器，利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器，利用溅射薄膜工艺制成压力传感器等。此外，传感器的检测极限正在迅速延伸，如利用约瑟夫逊效应研制的热噪声温度计，可测出0.00001K的低温。;(4) 向集成化、多功能化、多维化与数据融合、系统化方向发展 随着半导体技术的发展，现在已经将原先分开的敏感元件与信号处理以及电源部分制作在同一基片上，从而使检测及信号处理一体化、集成化，便于提高生产率。如利用光电转换原理组成网状阵列，将电信号转换成光学图像的显示器件。并已经出现了多功能传感器，可以同时测量多种参数或具有多种功能。;(续) 如美国单片硅多维力传感器(3个线速度、3个离心加速度、3个角加速度)；温、气、湿三功能陶