真空烧结炉说明书.docVIP

第 PAGE 1 页 共 NUMPAGES 8 页 真空高温烧结炉 说明书 目 录 TOC \o 1-3 \u 1 前言 PAGEREF _Toc308345073 \h 3 2 设备的工作原理 PAGEREF _Toc308345074 \h 3 3 技术指标 PAGEREF _Toc308345075 \h 3 4 设备构成 PAGEREF _Toc308345076 \h 4 4.1炉体总成 PAGEREF _Toc308345077 \h 4 4.2保温套 PAGEREF _Toc308345078 \h 4 4.3感应圈总成 PAGEREF _Toc308345079 \h 5 4.4集电装置 PAGEREF _Toc308345080 \h 5 4.5真空系统 PAGEREF _Toc308345081 \h 5 4.6水冷系统 PAGEREF _Toc308345082 \h 5 4.7电控系统 PAGEREF _Toc308345083 \h 5 4.8辅助系统 PAGEREF _Toc308345084 \h 6 5 安装调试 PAGEREF _Toc308345085 \h 6 6 使用操作 PAGEREF _Toc308345086 \h 6 6.1真空操作 PAGEREF _Toc308345087 \h 6 6.2加热升温操作 PAGEREF _Toc308345088 \h 7 6.3水路系统操作 PAGEREF _Toc308345089 \h 7 6.4充气系统操作 PAGEREF _Toc308345090 \h 7 6.5破真空操作 PAGEREF _Toc308345091 \h 7 6.6炉盖升降操作 PAGEREF _Toc308345092 \h 7 7注意事项 PAGEREF _Toc308345093 \h 8 8设备的保养 PAGEREF _Toc308345094 \h 8  1 前言 在使用本设备前，要充分阅读本说明书的各项要求及注意事项，熟悉设备的性能、功能及使用要求 高温烧结炉是在真空或特定气氛条件下进行高温烧结的设备，能够满足特定的工艺需求，适用科研单位或生产单位使用。 设备具有结构紧凑、操作简单、易于维护等特点。 2 设备的工作原理 本高温烧结炉的加热方式采用石墨电阻加热，在真空或特定气氛条件下利用石墨电阻发热，对物料进行加热来达到工艺要求。 3 技术指标 极限真空度：6.6×10-4 Pa； 系统漏率：停泵关机后残余气体压力≤0.66Pa/h； 工作区尺寸：立式加热区 ?280×450mm（H） 均温区尺寸：? 180×220mm（H） 工作区温度：最高加热温度2200℃； 工作区加热温度速率范围：≤35℃/Min； 4 设备构成 设备构成包括：炉体总成、保温套、石墨发热体、集电装置、真空系统、水冷系统、变压器、电控系统及充气等辅助设备组成。 4.1炉体总成 炉体采用圆形上开盖结构，炉体材质采用内、外层不锈钢（304）结构。炉盖上设有视察；炉体侧面设有真空管道、充气阀、排气阀、进电法兰等接口，炉体底部留有安装等用的法兰接口。 测温采用钨铼热偶作为测温热偶，热偶通过气缸推进，温度低于1000℃时采用钨铼测温，高于1000℃气缸退出，红外测温显示温度。 4.2石墨发热体 保温套侧面由三层石墨碳毡围成筒形，碳毡外有2层硅酸铝纤维毡，外面有不锈钢壳组成。底面由多层石墨碳毡，碳毡上面用石墨板做支撑组成，整体放在炉腔内能完成保温功能。 4.3石墨发热体 石墨发热体放在保温层内，它是右12根石墨棒通过上下石墨圈组合而成，石墨棒下端通过三根石墨电极引入三相电。通过低电压大电流使石墨发热。 4.4集电装置 集电装置由法兰板、进电铜管、铜排及附属零部件组成，其作用主要满足将变压器与石墨发热体连接在一起完成电和水的供给。 4.5真空系统 真空系统由KT-400扩散泵、2X-70旋片泵和相应的真空阀门、管道组成。主要满足炉腔所需的真空度要求。且管路各段设置必要的检漏接口。 4.6水冷系统 水冷系统由水排、各分水路、阀门、压力表等组成。 4.7电控系统 控制方式：具备自动和手动控制功能。自动控温仪表，可设定多条升降温曲线。采用日本岛电公司 FP93 温控器进行程序加热控温，可编写12组工艺曲线，每级工艺曲线包括 20段工序；采用进口红外测温仪进行测温和钨铼热偶测温。 5 安装调试 5.1安装调试前先按设备的总图、地基图、水电气系统图正确恢复安装。 5.2连接好内部和外部供给的水、电、气。 5.3进一步核对确认各个部位的连接关系及正确性。 5.4设备使用前各个控制开关均处在关闭或指定的位置，启动供水供电供气