双辉等离子渗钽对TiAlNTa复合涂层结构和性能的影响.PDFVIP

第 31 卷  第 6 期 中  国  表  面  工  程 Vol. 31 No. 6 2018 年 12 月 CHINA SURFACE ENGINEERING December 2018   doi: 10.11933/j.issn.1007−9289.20180831001 双辉等离子渗钽对TiAlN/Ta 复合涂层结构和性能的影响 徐    斌，刘竹波，张志龙，李栓平，于盛旺，周    兵 (太原理工大学 材料科学与工程学院，太原 030024) 摘 要: 采用Ta层作为过渡层，通过双辉等离子渗金属(DGPSA)与射频磁控溅射(RFMS)辅助直流脉冲磁控溅射技 术(DCPMS)制备TiAlN/Ta复合涂层。借助掠入射XRD、SEM、AFM、纳米压痕、划痕以及摩擦磨损测试了不同工艺 制备的Ta过渡层对复合涂层的相结构、表面(截面)形貌、硬度、结合力、韧性和摩擦磨损性能的影响。结果表明， TiAlN复合涂层在高偏压作用下结构致密，RFMS技术制备的Ta过渡层为柱状晶结构，复合涂层表面粗糙度较小，硬 度较大而磨损稳定性和耐磨性较差；而DGPSA技术制备的Ta过渡层为纳米晶结构，复合涂层表面粗糙度较大，硬度 降低但磨损稳定性与耐磨性都增强。对比发现，通过DGPSA技术制备Ta过渡层使得TiAlN/Ta复合涂层的结合力与 韧性大幅度提高。 关键词: TiAlN；Ta；过渡层；结合力；摩擦磨损 中图分类号: TG174.445 文献标志码: A 文章编号: 1007−9289(2018)06–0035–09 Effects of Double Glow Plasma Alloying Ta Layer on Structure and Properties of TiAlN/Ta Composite Coatings XU Bin, LIU Zhubo, ZHANG Zhilong, LI Shuanping, YU Shengwang, ZHOU Bing (College of Materials Science and Engineering, Taiyuan University of  Technology, Taiyuan 030024, China) Abstract: Using metal Ta layer as a transition layer, the TiAlN/Ta composite coatings were prepared by double glow plasma surface alloying (DGPSA) and RF magnetron sputtering (RFMS) with DC pulsed magnetron sputtering technique (DCPMS). The phase structure, surface (cross-section) topography, hardness, adhesion strength, toughness and friction and wear properties of the composite coatings were investigated by grazing incidence X-ray diffrac