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SJ 21129-2016 金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD)通用规范.pdfVIP

SJ 21129-2016 金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD)通用规范.pdf

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    本规范规定了金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD，以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD)的设计、生产、检验、验收和订购。

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