基片集成波导技术的研究现状和展望_肖丙刚.pdf

第 卷第 期 中 国 计 量 学 院 学 报 Ｖｏｌ．２３Ｎｏ．１ ２３ １ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｈｉｎａＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ｏｆＭｅｔｒｏｌｏ 年 月 　 　 　 ｙ 　 ｇｙ Ｍａｒ．２０１２ 　 ２０１２ ３ 【 】 （ ） 文章编号 １００４１５４０２０１２０１００９５１０ 　　 　 － － － 基 片集成 波导技术的研究现状和展望 ， ， 肖丙刚 谢 治毅 叶 鹏 　 （ ， ） 中国计量 学 院 信 息工程 学 院 浙江 杭州 ３１００１８ 【 】 （ ） ， ， 摘 要 综 述了 基片集成波导 ＳＩＷ 技术研究的 现状和 热 点 首 先 分 析了 ＳＩＷ 的基 本 理论 包括 ＳＩＷ 结 构 　 　 、 ； ， 、 、 设 计 损 耗 机 制和 频 带宽 度 等 然后 详 细分 析了基于 ＳＩＷ 的微 波 和 毫 米 波 器 件 包 括 无 源 器 件 有 源 器 件 天 ； ； 线 和可调谐 器 件 接着 对 基于 ＳＩＷ技术的器 件 模 拟 和 制 作 进 行 了 详 细 论 述 最 后 对 ＳＩＷ 技 术 应 用 于 太 赫 兹 器 件 的设 计 进 行了 展望 ． 【 】 ； ； ； 关键词 微 波器 件 太 赫兹 基片集成波导 硅 通 孔 技术 　 【 】 【 】 中图分类号 ＴＮ６１ 文献标志码 Ａ 　 　　　　　 　 Ｒｅｃｅｎｔａｄｖａｎｃｅｓａｎｄ ｒｏｓｅｃｔｏｆｓｕｂｓｔｒａｔｅｉｎｔｅｒａｔｅｄｗａｖｅ ｕｉｄｅ 　 　 　 　 　 － 　 ｐ ｐ ｇ ｇ （ ） ＳＩＷ Ｔｅｃｈｎｏｌｏ ｇｙ ， ， ＸＩＡＯ Ｂｉｎ ａｎ ＸＩＥ Ｚｈｉ ｉ ＹＥ Ｐｅｎ 　 － 　 － 　 ｇｇ ｇ ｙ ｇ （ ， ， ， ）