基于多次平移的平面绝对检测仿真-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２６ ５ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．５ 　 　 年 月 ， ２０１４ ５ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｍａ ２０１４ 　 　 ｙ 基于多次平移的平面绝对检测仿真 ， １２ １ １ １ １ 马 骅 ， 陈 波 ， 任 寰 ， 刘 旭 ， 刘 勇 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （ 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 ； 中国工程物理研究院 研究生院，北京 ） １． ６２１９００ ２． １０００８８ 　 摘 要： 将待测面形表示为多项式的和，通过分别沿 ， 向多次平移待检光学元件得到移动前后待测 狓 　　 　 　 狔 元件面形差，采用最小二乘法拟合多项式系数，得到待检光学元件的绝对面形。推导了多次平移法的理论公 式，并进行了仿真实验，模拟了移动次数、移动间隔和采样点数对测量精度的影响。仿真结果表明：待测平面与 初始平面残差图的均方根值为 －１３ ，理论误差达到高精度平面面形检测要求。 ５．１１８×１０ λ 关键词： 光学检测； 多次平移法； 平面绝对测量； 高精度面形检测； 仿真分析 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＢ９６ Ａ 犱狅犻１０．１１８８４ＨＰＬＰＢ２０１４２６．０５１００９ 　　 　 　　　　 　 　　 光学元件的面形精度是影响高功率固体激光装置输出光束质量的重要因素之一。作为光学元件加工和使 　　 用的“眼睛”，光学元件面形的高精度检测越来越受到元件加工和使用部门的关注。目前，常用的光学元件面形 检测方法基本属于相对检测法，其测量结果仅能表征待测元件面形相对于标准透射平板的面形偏差，其检测精 度低于标准透射平板的面形精度。随着高功率固体激光装置对光学元件面形精度要求的不断提高，相对检测 法已经不能满足光学元件加工及使用的需求，因此实现光学元件面形的绝对检测是目前亟待解决的问题。在 ［］ 已有的光学元件面形的绝对检测方法中， 和 １ 提出了三平板互检法，该方法通过三个被测平 Ｓｃｈｕｌｚ Ｓｃｈｗｉｄｅｒ 板两两组合，通过计算得到沿被测元件直径方向上的面形，而后又