全固态棽棻棸旑旐准连续深紫外激光器-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棿 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽棿暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椂 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻椂 文章编号 棬 棭增 棸棿 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椂 灢棸棽棻棽灢 全固态棽棻棸旑旐准连续深紫外激光器 棳 棻棽灣 棽 棽 棽 棻 棻 棳 棳 棳 棳 棳 崔建丰 高 涛 张亚男 王 迪 岱 钦 姚 俊 暋 暋 暋 暋 棬 棳 棳 椈 沈阳理工大学理学院 辽宁沈阳 棻棶 棻棻棸棻椀椆 棳 棳 棭 鞍山紫玉激光科技有限公司 辽宁鞍山 棽棶 棻棻棿棸棸棸 椇 棳 暎 摘要 本文采用国产 椄棸椄旑旐光纤输出半导体激光器作为抽运源 研制了全固态深紫外激光器 该激光器采用激光二极 管棬 棭端面抽运 晶体和声光调 棳 斕斈 斘斾暶斮斕斊 技术实现了准连续 棻棸椀棾旑旐的基波振荡 腔外利用一块 斕斅斚晶体和两块 暍 棳 暎 斅斅斚晶体对基频光进行二倍频 四倍频及五倍频 实现了准连续 棽棻棸旑旐的深紫外激光输出 实验研究了该激光输出功 暎 棳 棳 率与 斕斈抽运功率的关系 斕斈抽运功率为 棻棾斪声光调 激光器的调制频率为 棻旊斎旡基波平均输出功率为 棻棶棾棾斪 棳 棳 棳 暎 时 能够获得平均输出功率 脉冲宽度 的 深紫外激光 光束质量良好 该激光器腔外谐波变换无 棻椃旐斪 椂棶棻旑旙 棽棻棸旑旐 棳 暍 棳 暎 聚焦系统 结构简单 易于操作 有利于小型化生产 椇 椈 椈 椈 关 键 词 全固态激光器 深紫外激光器 五倍频 准连续 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斘棽棿椄棶棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椂棽棿棻棾棶棸棽棻棽 斄旍旍灢旙旓旍旈斾灢旙旚斸旚斿棽棻棸旑旐 旛斸旙旈灢斻旓旑旚旈旑旛旓旛旙斾斿斿 旛旍旚旘斸旜旈旓旍斿旚旍斸旙斿旘 旕 旔