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•机械制造 • 周陶,等 •工艺参数对多弧离子镀TiAlN涂层铝含量和硬度的影响
-
DOI:10.19344/ ｊ.ｃnki.issn1671 5276.2017.05.004
工艺参数对多弧离子镀 TiAlN涂层
铝含量和硬度的影响
周陶,袁军堂,汪振华,黄雷
(南京理工大学 机械工程学院,江苏 南京210094)
4
摘 要:为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9(3 )正
交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/ 氩气流量比以及腔体压强对涂层Al
含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合。 结果表明:影响Al含量的因素按重
要性排序依次是:腔体压强、氮气/ 氩气流量比、衬底负偏压、弧电流。 影响涂层硬度的因素按
重要性排序依次是:弧电流、氮气/ 氩气流量比、腔体压强、衬底负偏压。
关键词:多弧离子镀；TiAlN涂层；正交分析；Al含量；硬度
中图分类号:TG174 文献标志码:A 文章编号:1671-5276(2017)05-0015-05
Effects of Deposition Parameters on Aluminum Content and Hardness of TiAlN
-
Coatings bｙ Multi arc Ion Plating Techniｑue
ＺHOＵTao,YＵANJｕntang,ＷANGＺhenhｕa,HＵANG Lei
(Schoolof Mechanical Engineering,Ｎanｊing Ｕniｖerｓity of Science and Technology,Ｎanｊing210094,Ｃhina)
Abstract: -
The effectｓ of depoｓition parameterｓ on aluminum content and hardneｓｓ of TiAlＮ hard coatingｓ ｂy multi arc ion plating
techniｑueare reｓearchedon. Ｂy theeｘperiment,thiｓ paperanalyｚeｓthe influenceof fourdifferent factorｓ:arc current,negatiｖe ｂi-
aｓ,nitrogen/ argonfloｗ ratio andcaｖity preｓｓure,onAlcontent and hardneｓｓ.The reｓultｓ indicatethat thefactorｓ haｖing influence
onthe aluminumcontent arecaｖity preｓｓure,nitrogen/ argonfloｗ ratio,negatiｖeｂiaｓandarccurrent inturn,andthefactorｓ haｖing
influence onthe coating hardneｓｓ are arc current,nitrogen/ argonfloｗ ratio,caｖity preｓｓure and negatiｖe ｂiaｓ inturn.
Ｋeｙｗords: -
multi arc ion platingtechniｑue；TiAlＮcoati
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