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机械设计与制造 第9期
108 MachineryDesignManufacture 2016年9月
旋转超声波钻削用气浮工作台的设计与实验
刘礼平∽，林彬2，房丰洲1-3
(1．天津大学微纳制造中心，天津300072；2．天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室，天津300072；
3．天津大学精密测量技术与仪器国家重点实验室，天津300072)
摘要：旋转超声波加工是一种精密、有效的硬脆材料加工方法，为了获得最佳加工质量，旋转超声波钻削加工中，恒定、
灵敏地控制工件与工具之间的静载荷至关重要。设计了一种新型的气浮工作台，用于恒定、灵敏地控制旋转超声波加工
中的力。并且对比恒速和恒力两种进给方式下，旋转超声波钻削加工高纯氧化铝的加工孔出入口形貌、刀具形貌以及刀
具磨损率。研究表明，采用气浮工作台的恒力进给方式可以延长刀具寿命，减小刀具磨损状况下的工件损伤。
‘
关键词：工程陶瓷；气浮工作台；恒速：bn-r；恒力加工
中图分类号：THl6；THl22文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2016)09—0108—03
Air
and ofan Workbench
DesignExperimentalStudy Bearing
for Ultrasonic
Rotary Drilling
T3
LIU Bin2．FANG
Li—pin91一一，LIN Feng—zhoul
ofMicroNano of
(1．Centre 300072，China；2．KeyLaboratory
ManufacturingTechnology，TianjinUniversity，Tianjin
AdvancedCeramicsand of 300072，China；3．State
MachiningTechnology，MinistryEducation，TianjinUniversity，Tianjin
ofPrecision and 300072，China)
KeyLaboratory MeasuringTechnologyInstruments，TianjinUniversity，Tianjin
ultrasonic is and methodshardandbrittlematerials．Inorder
Abstract：Rotating a effective for
machiningpmcise
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