厚膜混合电路的激光调阻技术.pdfVIP

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2019-03-14 发布于辽宁
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厚膜混合电路的激光调阻技术.pdf

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2009钷仪表技术与传或毳 2009 Instrument andSensor 增刊 Technique supplement 厚膜混合电路的激光调阻技术李颖，林洪，陈琳，王雪冰，张娜，张治国 (沈阳仪表科学研究院，辽宁沈阳110043) 摘要：文中重点论述了厚膜混合电路的激光调阻机理、激光调阻系统的结构、调阻工艺及参数、调阻工作程序、切割类型、切槽缺陷分析及合格切槽要求等方面的内容，对厚膜混合电路的激光调阻具有重要的指导意义。关键词：激光调阻系统；调阻工艺；工作程序；切槽中图分类号：TF216 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增一0202—03 TheLaser ofThickFilm Circuit Technology Trimming HybridIntegration LIYing，LINHong，CHENLin，WANG Na，ZHANGZhi—guo Xue-bing，ZHANG ofInstrumentation (ShenyangAcademy Science，Shenyang110043，China) ofthickfilm Abstract：laser mechanism circuitWag structure，tech· trimming hybridintegration introduced．Trimmingsystem notchdefect andthe for notch etching nologicalparameters，workingprogram，etchingtypes，etching analysis requestqualified film laser werealsodiscussd．Itis tothick circuit resistor． significative hybrid trimming words：laser notch Key trimmingsystem；trimmingtechnology；workingprogram；etching 0引言很重要的。必须产生一清洁的边缘和整齐的切口，而又不损坏随着高新技术和多学科技术的融合应用，新型传感器开始邻近的电阻材料。切口中的剩余材料会造成电流的并联路径使向小型化、集成化、低成本、高可靠、高性价比的方向发展。电阻不稳定。微机械加工、微电子工艺、厚膜混合电路等先进的制造技术以． 13ite Size吃进尺寸：一一k一其特有的技术优势在传感器中的应用日益广泛，已成为传感器 —L—≯G弋7c弋≯c弋7G