GB/T 36306-2018洁净室及相关受控环境　空气化学污染控制指南.pdf

ICS 13.040.35 C 70 国 中华人民共和国国家标准 GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南 Cleanrooms and associated controlled environments- Guidelines for airborne chemical contamination control 2018-06-07 发布 2018-10-01 实施 国家市场监督管理总局峪非 中国国家标准化管理委员会 0(.. I (J GB/T 36306-2018 目次 I 引言 ……………………………………………………………………………………… n 1 范围 － 2 规范性引用文件 － 3 术语和定义 … 4 污染源、分级与分类……………….. ... . ..…………………………………… ……………………. 2 5 检~lj ………… 6 空气化学污染控制 · 附录 A （资料性附录） 微电子和光电子领域对空气化学污染物的分级与分类 附录B （资料性附录） 气相污染物监测与相关分析测定仪棒 ………………………………………… 4 附录 c （资料性附录） 控制化学分子污染设施系统 附录D （资料性附录） 微电子丁－业洁净室空气化学污染控制标准 …………………………………… 11 参考文献 · GB/T 36306-2018 c) 与计算机软件结合全谱直读结果， 方便快捷。 GB/ T 2591 5.8 2010 中附录B所列州的掺杂污染物如：棚、磷、耐等污染物的定性，定量分析，所推 荐的测定方法中如采用 ICP-OES 测定， 相应的检出极限各为： 删(B) 0. 6 9 ,ug/L，磷（P) l. 55 ,ug/L，叫 (As)l.43 ,ug/L 均能满足应用。 B.3 洁净室常用的环境反应监测系统 B.3.1 概述 洁净室环境中污染物的测试是污染控制的重要部分，10 多年来巳积累了大量有成效的结果。空气 化学污染物虽然已划分为四大类，但品种、数量之多己是不胜枚举，并且有时是不稳定的，如果采用化学 仪器分析并不是一件很简单的事。 并且在实际中感到， 单一气体影响与多种气体同时共存的情况，对芯 片影响的程度可能产生协同效应，单项污染物测定数据无法表明这种可能的协同效应所造成之影响。 因而，在 1999 年以后在ISA S71.04-1 985 的基础上建立了“环境反应监视lj 法” （ ERMs）逐步得到发展， 取得成功，该方法是考虑腐蚀性气体对芯片的腐蚀程度为基础， 采用环境反应采样片（ERCs） 放在各个 待洲区域，如新风机组的进出口 ， 循环风机组进向口等，时间是以 30 天为一个周期，观察来样片厚度的 变化，以 A(Angstrom）为单位。 B.3.2 洁净室的环境分级 根据ERMs 的分级标准各分5 级，用 Cl～C5、 Sl～S5 来表示不同的程度， 见表B. 3 0 表 B.3 洁净室环境分级表 级另lj 腐蚀革 铜腐蚀空气质量分级 腐蚀量； 级别 银腐蚀空气质量分级 Cl