GB/T 36066-2018洁净室及相关受控环境　检测技术分析与应用.pdf

ICS 13.040.35 C 70 国 =11:. 中华人民 和国国家标准 J，、 GB/T 36066-2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 Cleanrooms and associated controlled environments一 Analysis and application of test technology 2018-03-15 发布 2018-07-01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 36066-2018 目次 前言 ………………………………….. .. . ...……………………………………………………….. I 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义……………………………………………………………………………………………… 1 4 检测项目与相关应用领域 ……………………………………………………………………………… 2 5 检测技术要求 ………………………………………………………………………………… …. 3 6 检~lj 仪器配置 …………………………………………………………………………………………… 4 7 检测T况分析…………………………………………………………………………………………… 7 附录 A （资料性附录） 压差的调试和测试 ……………………………………………………………… 9 附录B （资料性附录） 向净检测 ………………………………………………………………………… 10 附录 c （资料性附录） 巳装过滤系统检漏 ……………………………………………………………… 11 参考文献 ………………………………………………………………… 15 GB/ T 36066-2018 表 3 （续） 主要原因。 异常丁况 检测项目 a ) 表冷苦苦空调冷冻水供水源皮偏高。不能满足空调冷冻水问水混度低于空 气处琐的机器露点0.7 ℃以上的热力学要求。 b ) 表冷器换热效果差（刽i 垢、 钻构缺陷、 换热面积不足、设计缺陷一一二级 夏季盟皮偏高 表冷系统设ti 成一级表冷系统等）。 c) 除湿方法选择不当，当相对湿度《40%时，冷冻去湿已不能满足要求， 南 相对湿度 采用化学去湿 a ) 力I I 湿＃耳边型错误（热力学丁况为等温1111 湿型选成等；晗力JI fil型）。 采用水刘l 湿（等熔力JI 湿〉方法时，却｜｜ 湿前空气要力II 热剑 30℃ 以上，方能完成力I I 温