原创力文档专利信息
申请号：
200510012419
申请日：
2005/03/25
公开日：
2005/09/28
公告日：
2008/01/16
公开号：
1673407
公告号：
100362127
授权日：
2008-1-16
授权公告日：
2008-1-16
专利类别：
发明
国别省市代码：
14[中国|山西]
代理机构代码：
14101
代理人：
庞建英
申请人地址：
山西省太原市迎泽西大街79号
邮编：
030024
范畴分类号：
25F
名称：
一种制备氮化钛复合陶瓷的工艺
国际分类号：
C23C 14/06;C23C 14/38
申请人：
太原理工大学
发明人：
徐重;刘燕萍;高原;徐晋勇
文摘：
一种制备氮化钛复合陶瓷的工艺属于金属材料表面冶金改性技术的范畴。其特征在于是，在真空容器内，将欲渗金属源极以金属钛丝的形式插入到平板或圆桶中且钛丝与钛丝间隔８－１５ｍｍ，长度为１０－５０ｍｍ，置于距离被渗金属工件１０－２８ｍｍ处，首先将氩气通入到真空容器中，在低电压作用下将欲渗金属钛丝以钛的离子、原子的形式高密度溅射出来，吸附在被轰击加热到一定温度的工件表面上，形成一定厚度的钛的渗镀扩散层。然后通入一定混合比的氩气和氮气（或氨气）在钛被溅射和扩散的同时使氮与钛元素在工件表面产生化学反应，形成ＴｉＮ的晶核并长大，其ＴｉＮ合金层和扩散层厚度高达１０μｍ以上，钛和氮的成分也由
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