多元TiCN膜的制备和性能研究-东南大学学报.PDF

第 卷第 期 ３２ １ 东南大学学报（自然科 学版 ） Ｖｏｌ３２Ｎｏ１ 年 月 ２００２ １ （ ） Ｊａｎ．２００２ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ  多元 （ ）膜的制备和性能研究 ＴｉＣＮ 姚正军 沈 星 王少刚 刘德浚 （南京航空航天大学材料科学与技术学院，南京 ２１００１６） 摘要：为研究多元 （ ）膜层，用空心阴极离子镀方法，通入不同比例 和 反应气体， ＴｉＣＮ ＣＨ Ｎ ２ ２ ２ 以研究反应气体流量变化对膜层性能的影响，筛选出 与 的最佳比例，确定镀膜的最佳 ＣＨ Ｎ ２ ２ ２ 工艺参数，并对最佳工艺条件下的膜层进行了硬度和膜基结合力等的测试，用 衍射仪、电 Ｘ 镜、金相显微镜等对膜层的微观组织结构进行了分析 结果表明：镀膜工艺可行，膜层性能优 ． 异，膜基结合好，为以后多元膜层的推广使用提供了实验和理论依据． 关键词：离子镀； （ ）；组织结构；制备；性能 ＴｉＣＮ 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＧ１１３ＴＧ１７４．４ Ａ １００１－０５０５２００２０１００８６０４ （ ） ＭａｎｕｆａｃｔｕｒｅｏｆｔｈｅｍｕｌｔｉｃｏｍｐｏｎｅｎｔＴｉＣＮ ｆｉｌｍ ’ ａｎｄｔｈｅｓｔｕｄｙｏｎｉｔｓｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ＹａｏＺｈｅｎｇｊｕｎ ＳｈｅｎＸｉｎｇ ＷａｎｇＳｈａｏｇａｎｇ ＬｉｕＤｅｊｕｎ （ ， ， ， ） ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃｓａｎｄＡｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓＮａｎｊｉｎｇ２１００１６ Ｃｈｉｎａ ： ， ， （ ） Ａｂｓｔｒａｃｔ ＵｓｉｎｇｔｈｅＮ ＣＨａｓｔｈｅｒｅａｃｔｉｖｅｇａｓｅｓｔｈｅｆｉｌｍｓａｒｅｄｅｐｏｓｉｔｅｄｏｎｈｉｇｈｓｐｅｅｄｓｔｅｅｌＨＳＳ． ２ ２ ２ ’ Ｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｔｈｅｃｈａｎｇｅｏｆｔｈｅｒｅａｃｔｉｖｅ