扫描电镜中XRF和EDS分析结合.PDFVIP

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL: techcomp@techcomp.cn 扫描电镜中 XRF 与 EDS 分析结合 陶瓷地矿冶金领域微量元素分析 摘要 ： 随着电制冷能量色散X 射线探测器的出现，X 射线荧光仪（XRF ）得以快速发展。 由于方便携带、操作简单和分析快速，手持式X 射线荧光仪被广泛应用在陶瓷、岩石、 土壤、冶金以及玩具检测等领域， 使用 X 射线源来激发被分析材料中元素的特征 X 射 线，用来检测微量元素尤其是重金属的成分及含量。 图 1. 手持式 X 射线荧光仪的应用 扫描电镜能谱仪（EDS ）则用电子束来激发材料的特征 X 射线 ，作为材料成分分析 的重要手段， EDS 具有定性，半定量以及快速分析的特点，并且结合扫描电镜，可以 进行元素线扫描以及面分布分析， 以及