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微系统技术研究团队
团队负责人 田文超
团队成员
职称 姓名
教授 田文超
副教授 曹艳荣
讲师 王永坤、时婧、张弛、解忠良
团队简介
该团队目前有成员四人,分别为田文超教授、曹艳荣副教授、王永坤博士后、
时婧博士后、张弛博士和解忠良博士。均具有“211”或“985”高校授予的博士学位,
平均年龄34 岁。具有国外著名学校留学经历4 人。近年来承担了国家自然科学
基金重大项目、国家自然科学基金面上项目、国家自然科学基金青年基金、国家
自然科学基金应急基金、国家973 计划、国家科技支撑项目、总装预研、博士后
基金、陕西省自然科学基金、宁波自然科学基金、航天基金、华为基金、西安市
AM 基金等70 余项。出版专著5 部,发表学术论文 130 余篇,其中SCI 收录论
文100 余篇。授权发明专利11 项,转让1 项。
人才、重要成果及奖项
1.国家自然科学基金面上项目:基于屈曲的低压高速大变形微驱动器关键技术研
究
2. 国家自然科学基金重大项目子课题:超薄栅介质在多应力条件下的退化机制研
究
3. 国家自然科学基金应急基金:新型高功率高频率多路RF MEMS 开关建模分析
4.科技部创新基金:数字式高温无霍尔直流无刷电机伺服驱动器
2017 年获得陕西省科技工作者创新创业大赛铜奖
2015 年获得第三届“凤麓英才”计划E 类团队
主要研究方向
1. 微机电技术
智能微传感器和驱动器、RF 开关、微波器件、微泵、微流体系统、微散热。
2. 先进封装技术
器件级和电路板级封装、微组装中的热设计、电磁耦合、高速信号、振动冲
击、失效机理及寿命预测、可靠性分析;3D 叠层、TSV 技术、SIP 技术、微系
统等先进封装技术性能分析。
6XB-PC
3. 新材料器件及可靠性
GaN 等半导体材料、压电材料、形状记忆聚合物等智能材料分析、制备和
测试;电子器件结构可靠性研究。
博士/硕士招生(详见招生简章)
类型 导师姓名 招生学科专业 联系邮箱
机械工程(博/硕)
博导 田文超 wctian@xidian.edu.cn
仪器科学与技术(博/硕)
硕导 曹艳荣 机械工程 yrcao@mail.xidian.edu.cn
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