基于位置敏感探测器的微位移测量关键电路设计.pdfVIP

第20卷 第 l8期 电子设计工程 2012年 9月 Vo1．20 No．18 ElectronicDesi~nEng Set)．2012 基亏位置敏感探测器的微位移测量关键 电路设计 江孝国，李 洪，杨兴林，文 龙，石金水，张开志，王 远 (中国工程物理研 究院 流体物理研 究所 ，四川 绵 阳 621900) 摘要 ：位置敏感探测器PSD(PositionSensitiveDetectorPSD)具有位置分辨精度高(可达 1-2 m)、输 出实时性好 (响 应时间约几微秒)、系统简洁的特点，在位置探测及相关领域 内获得 了广泛的应用；但 PSD的输 出信号小，易受到 电 路噪声的影响，若要充分发挥其性能，则需要高精度 、高稳定度 、低噪声的测量 电路。针对 PsD这种较高的使用要求 ， 通过对其等效模 型的分析 。找到 了影响位置分辨精度的主要 因素 ，并提 出了一种新形式的测量 电路 ，减少了测量 电路 级数 ．降低 了电路 的噪声以及测量 电路 内部的漂移 ，同时具有对位置测量非线性的校正功能。采用上述原理 以S1880 PSD建立的位 置测量 系统 的位 置分辨达到 2～3Izm。 关键词 ：位置敏感探测器件 ；光 电效应 ；低噪声；高精度 中图分类号 ：TN15 文献标识码 ：A 文章编号：1674—6236(2012)18—0096—05 Designonthekeymeasurementcircuitforsmalldisplacementmeasurementsystem withl~sition sensitivedetector JIANGXiao—guo，LIHong，YANGXing—lin，WENLong，SHIJin—shui，ZHANGKai—zhi，WANGYuan (InstituteofFluidPhysics，CAEP，Mianyang621900，China) Abstract：Positionsensitivedetectorshavebeenwidelyappliedinthefieldofdisplacementmeasummem andrelativefieldfor itsgoodcharacteristicssuchashighpositionresolution(1-2 m)，hishspeedresponse(一p．s)，simplifiedsystem．Theoutput currentsignalfrom aPSDisverysmallandcontainnoise．Alow noisemeasurementcircuitwitIlahighprecisionandstability mustbeadoptedinordertoobtainhtebestperformance．Th emainfactordeterminingpositionresolutionisdiscoveredby analyzingtheequivalentnoisemodelof themeasurementprinciplecircuit．Onekindofmeasuremem circuitwithlow noise andgoodstabilityisdeveloped．Itfeaturesafewcircuitstagesandapplicationofmicroprocessor．Thenon-linearerrorand inneroffsetorshift canberemovedeasily．Th epositiondisplacement measurementsystemwithPSD S1880 developed achievespositionresolutionof2-3 m． Keywor~：PositionSensitiveDetector(PSD)；