基于粘滑驱动的精密定位台建模与控制-机械电子工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index: TP242.3 U.D.C: 621 Dissertation for the Master Degree in Engineering MODELING AND CONTROL BASED ON THE STICK-SLIP DRIVING PRECISION POSITIONING STAGE Candidate： Liang Shuai Supervisor： Prof. Rong Weibin Academic Degree Applied for： Master of Engineering Speciality： Mechatronics Engineering Affiliation： School of Mechatronics Engineering Date of Defense： July, 2014 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 摘 要 基于 SEM（Scanning Electron Microscopy）的微纳操作机器人因具有良好的视 觉反馈实时性，纳米级观测分辨率以及高真空操作环境，受到了各研究领域的广 泛关注。但是，应用于 SEM 中的纳米精密定位台多基于开环定位控制，这类系统 往往存在稳态定位误差，且抗干扰能力差，从而影响了纳米精密定位台的定位精 度。针对以上问题，本课题在满足 SEM 定位要求的基础上，设计并实现了纳米精 密定位台的反馈控制定位。 纳米精密定位台基于粘滑驱动原理。本文提出一种新的摩擦力模型—LS 模型。 LS 模型仅包含 7 个参数，适合用于与摩擦力相关的仿真计算。仿真结果表明，LS 模型可以准确描述摩擦力的各项性质，诸如 Stribeck 效应，迟滞性，频率独立性以 及非局部记忆现象（nonlocal memory）。基于 LS 模型，建立纳米精密定位系统动 力学模型。仿真结果表明，该动力学模型能够准确描述定位系统的运动特性。 设计基于粘滑驱动的纳米精密定位台控制方案，建立压电陶瓷—柔性铰链串 联系统动力学模型。该模型能够准确描述压电陶瓷及柔性铰链的主要性质。针对 压电陶瓷高速驱动的特点，采用前馈-PID 控制方案，完成压电陶瓷位移闭环控制。 仿真结果显示，前馈-PID 控制方式显著提高了系统的响应速度，使系统获得了更 好的动态特性。针对 SEM 内腔空间狭小，禁磁等特点，提出预测开关式控制方法。 仿真结果显示，预测控制方法使系统震荡以及稳态误差均明显减小。 搭建基于粘滑驱动的纳米精密定位台实验系统，检测纳米精密定位台工作性 能。实验结果显示，通过对压电陶瓷进行前馈-PID 控制，使压电陶瓷获得了较好 的重复定位精度；并且在前馈-PID 控制下，压电陶瓷动态性能得到明显改善。通 过预测开关控制的纳米精密定位台具有较好的定位一致性。实验结果表明该闭环 控制定位系统能够满足 SEM 中的纳米精密定位要求。 关键词：粘滑驱动；纳米精密定位台；摩擦模型；动力学模型；定位控制 I - Abstract In the field of micro-nano manipulator，since SEM nano manipulator has a good vsual feedback real-time observation，provides a nano resolution, and has a high caccuum working environment, it has drawn a widely attention in many reaching fields. But most SEM nano manipulators are based on open-loop control, resulting in a steady state error and poor anti-interference ability. Base on the above situation, this paper develops a nano precision positioning stage with feedback control which meets the requirements of SEM. The precision positioning stage of this paper is based on the stick-slip driving principle. By analyzing the features of the exis