银薄膜结构的高灵敏度FabryPerot光纤声压传感器-哈尔滨工业大学.PDFVIP

第４８卷　 第３期 哈　 尔　 滨　 工　 业　 大　 学　 学　 报 Ｖｏｌ４８ Ｎｏ３ 　 　 ２０ １６年３月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＨＡＲＢＩＮ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ ＯＦ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｍａｒ． ２０１６ 　 　 　 　 　 　 ｄｏｉ：１０．１１９１８／ ｊ．ｉｓｓｎ．０３６７⁃６２３４．２０１６．０３．００２ 银薄膜结构的高灵敏度Ｆａｂｒｙ⁃Ｐｅｒｏｔ光纤声压传感器 刘　 彬，刘　 欢，林　 杰，金　 鹏 （哈尔滨工业大学 电气工程及自动化学院，１５０００１哈尔滨） 摘　 要：为改善膜片式Ｆａｂｒｙ⁃Ｐｅｒｏｔ 光纤声压传感器中悬空薄膜的平整度，提高其检测微弱声压的能力，提出一种大面积银薄 膜转移加工方法． 采用磁控溅射沉积银薄膜，利用基于正性光刻胶的牺牲层工艺进行转移贴合． 银薄膜直径为２．５ｍｍ，厚度为 １３０ｎｍ． 实验结果表明：银薄膜薄膜表面平整度＜２０ μｍ；加工得到的声压传感器在０．１～３．０ｋＨｚ 频带范围内具有一致的频响特 － 性，在１ｋＨｚ处的声压灵敏度为 １５８ ｄＢ （ 参考值 １Ｖ／ μＰａ）． 在０．００１～１．２５０ Ｐａ 声压范围内，传感器输出响应与入射声压之 －０．５ 间具有良好的线性关系；最小可探测声压为４１９ μＰａ ·Ｈｚ ． 所提出的加工方法可有效改善薄膜的平整性，并具有良好的工 艺性和可重复性；加工得到的传感器适应于高灵敏度微弱声压探测工作． 关键词：Ｆａｂｒｙ⁃Ｐｅｒｏｔ；光纤传感器；银薄膜；高灵敏度；声压检测 － － － 中图分类号：ＴＢ５１２ 文献标志码：Ａ 文章编号：０３６７ ６２３４（２０１６）０３ ００１１ ０４ Ｈｉｇｈ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ Ｆａｂｒｙ⁃Ｐｅｒｏｔ ｆｉｂｅｒ ａｃｏｕｓｔｉｃ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓｅｎｓｏｒ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｌａｒｇｅ ａｒｅａ ｓｉｌｖｅｒ ｄｉａｐｈｒａｇｍ ＬＩＵ Ｂｉｎ，ＬＩＵ Ｈｕａｎ，ＬＩＮＪｉｅ，ＪＩＮ Ｐｅｎｇ （Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ａｎｄ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ，Ｈａｒｂｉｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１５０００１Ｈａｒｂｉｎ，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎ ｏｒｄｅｒ ｔｏ ｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｆｌａｔｎｅｓｓｏｆ ｔｈｅｄｉａｐｈｒａｇｍａｎｄｔｈｅａｂｉｌｉｔｙ ｏｆ ｔｈｅｄｉａｐｈｒａｇｍ⁃ｂａｓｅｄ Ｆａｂｒｙ⁃Ｐｅｒｏｔｆｉｂｅｒ ａｃｏｕｓｔｉｃｓ ｓｅｎｓｏｒ ｔｏ ｄｅｔｅｃｔ ｗｅａｋ ａｃｏｕｓｔｉｃｓ ｓｉｇｎａｌ，ａ ｌａｒｇｅ ａｒｅａ ｓｉｌｖｅｒ ｄｉａｐｈｒａｇｍ ｗａｓ ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ ｂｙ ｓｐｕｔｔｅｒｅｄ． Ｔｈｅ ｄｉａｐｈｒａｇｍｗａｓｔｈｅｎ ｔｒａｎｓｆｅｒｒｅｄ ｔｏ ｔｈｅ ｓｅｎｓｏｒ ｈｅａｄｗｉｔｈ ａ ｓａｃｒｉｆｉｃｅ ｌａｙｅｒ．Ｔｈｅ ｄｉａｐｈｒａｇｍ ｉｓ ａｓ ｔｈｉｎ ａｓ １３０ ｎｍ，ｗｈｉｌｅ ｉｔｓ ｄｉａｍｅｔｅｒ ｉｓ２．５ ｍｍ． Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ ｒｅｓｕｌｔ ｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｅ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｆｌａｔｎｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｄｉａｐｈｒａｇｍ ｉｓ ｌｅｓｓ ｔｈａｎ ２０ μｍ． Ｔｈｅ