基于衍射微光学效应的图像生成及光束整形-模式识别与智能系统专业论文.docxVIP

I I 摘 要 基于光波的衍射理论发展起来的现代衍射微光学技术，是微电子与微光学相互 交叉、渗透而形成的前沿学科。衍射微光学元件具有体积小、重量轻、易复制等特 征，在诸如光纤通信、微光机电系统及国防军事等众多领域有着广阔的应用前景。 本文在研究可见光、红外和 THz 等频域的衍射微光学元件的设计和制作所需要 的基础理论、基本方法的基础上，针对图像仿真、图像隐身、图像加密和多谱光束 整形等开展了较为深入的研究。 主要研究工作可归纳如下：（1）根据光波的基尔霍夫标量衍射理论，阐述多谱 衍射微光学元件的算法设计所需要的基础理论；（2）利用{100}晶向的硅在 KOH 溶 液中的各向异性腐蚀特性，通过控制衬底上的掩模开孔大小和位置，KOH 腐蚀液的 浓度和温度以及腐蚀时间，得到具有预定深度的衍射相台阶结构；（3）针对不同谱 段的光波特性和多谱图像目标仿真需求，通过单步光刻以及双步 KOH 湿法腐蚀方 法，制作出了衍射微光学元件，并对实验结果进行了分析和讨论；（4）基于图像目 标隐身的要求，设计了用于图像隐身的衍射微光学位相结构，实现了图像目标隐身 的模拟计算；（5）基于衍射微光学理论的数据加密和图像信息隐藏技术，设计了衍 射微光学相位加密结构，对设计实例进行了分析和讨论；（6）发展基于现代衍射微 光学的光束整形方法是现代波前校正领域中的热点研究问题，本文设计出可用于多 种波前变换的衍射微光