微米圆球之光子奈米喷流的数值分析与实验量测-淡江大学机构典藏.PDF

論文類別 1. Materials and Device Characterization 10. Design, Simulation and Integration 微米圓球之光子奈米噴流的數值分析與實驗量測 1 1 劉承揚 、王永勛 1 淡江大學, 機械與機電工程學系, 新北市 cyliu@mail.tku.edu.tw 摘要 2. 數值分析 本文主要研究探討微米圓球的光子奈米噴流現 本研究採用時域有限差分法來模擬計算微米圓球 象。在理論方面，我們使用時域有限差分法來模擬奈 之光子奈米噴流的光場分佈和聚焦情況[11]，時域有限 米圓球的光子奈米噴流之光場分佈和光場強度的增益 差分法是將Maxwell方程式在時間及空間上離散化，在 效果，並分析影響光子奈米噴流形成的參數。在實驗 空間中形成網格式的分佈，可以進行連續疊代，以求 方面，我們自行設計和架設一套低照度的光學顯微鏡 得電磁場隨時間的變化與分佈，因此使用此方法可以 系統來量測由微米圓球所發出的背向散射光和光子奈 詳細的計算光波在微米圓球內外的傳遞情況。 米噴流的光場分佈，並與數值計算結果相互比對。在 圖一為微米圓球的數值模型，計算空間的面積為 8 遠場光學系統中，若想要突破繞射極限而得到奈米級 μm × 7 μm ，微米圓球放置於計算空間的中心位置(x, y) 的影像則必須有效的收集和恢復消散波的光學資訊， = (4 μm, 3.5 μm) ，網格大小為Δx = Δy = 10 nm ，其中 本文的研究結果將有助於解決高科技產業中奈米等級 相關參數分別為：微米圓球直徑d和折射率n1 、周圍環 的影像量測問題，例如線寬、微粒、光柵、甚至複雜 境折射率n2 、微米圓球與光子奈米噴流焦點的距離f 、 幾何圖案之量測。 光子奈米噴流的衰減長度g 。圖二為光子奈米噴流聚焦 點與微米圓球折射率的關係，當圓球折射率越高時， 關鍵字：光子奈米噴流、微米圓球、繞射極限。 光子奈米噴流的聚焦點會往圓球的中心移動，也就是 焦距會變短，而當圓球直徑越小時，其相對應的焦距 也會較短。 1. 前言 米氏散射理論發展至今已經超過一百年的歷史， 該理論主要用來描述球形微粒的光散射情況，在特殊 的幾何條件下，米氏理論提出 Maxwell 方程式的半解析 解 [1,2] 。近年來，球形微粒的光子奈米噴流現象被發 現[3] ，當光波照射到微米級結構，例如微米圓球或微 米圓柱，就會有光子奈米噴流的現象產生，此現象是 在微米級結構