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浅淡平面高赝VDMOS_7：艺平台发展 电子质量 (2014第03期) 测试测量技术 浅谈平面高压 VDMOS工艺平台发展 SimpleIntroducetheTechnologyDevelopmentofVDMOS 鄢细根 (华越微电子有限公司，浙江绍兴312000) YanXi-gen(HuaYueMicrt~lectronicsCO，LTD．，ZhejiangShaoxing312000) 摘 要：该文从国内生产线的实际出发 ，简单介绍 了目前国内主流功率VDMOS器件生产厂家所采用的 平面高压VDMOS工艺平台，初步总结了当前各种成熟工艺平台具有的特点与优点，希望该文有助于闰 内同行之间相互借鉴与提高 ，目的是促进民族工业不断向前发展。 关键词：VDMOS—艺平台；元胞；主结；终端结构；分压环 ；场板；空间电荷区；PN结；EAS 中图分类号：TN432 文献标识