研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用-硅酸盐学报.PDFVIP

第47 卷第1 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 47 ，No. 1 2 0 1 9 年 1 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY January ，2019 DOI ：10.14062/j.issn.0454-5648.2019.01.06 研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用 1,2 2 1 2 1 黄传锦 ，周 海 ，朱永伟 ，徐晓明 ，李 军 (1. 南京航空航天大学机电学院，南京 210016 ；2. 盐城工学院机械学院，江苏 盐城 224051) 摘 要：氧化