烧结气氛和温度对In2O3和SnO2及其混合粉烧结-中国有色金属学报.PDFVIP

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2019-03-29 发布于天津
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烧结气氛和温度对In2O3和SnO2及其混合粉烧结-中国有色金属学报.PDF

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第 24 卷第 1 期中国有色金属学报 2014 年 1 月 Volume 24 Number 1 The Chinese Journal of Nonferrous Metals January2014 文章编号：10040609(2014)01022108 烧结气氛和温度对 In O 和 SnO 及其 2 3 2 混合粉烧结行为的影响李晏平，刘志宏，李玉虎，刘智勇，李启厚 (中南大学冶金与环境学院，长沙 410083) 摘要：采用 XRD、SEM 和 XRF 等表征方法研究 In O 、SnO 及其混合粉(In O 与 SnO 质量比为 9:1)在 N 、空 2 3 2 2 3 2 2 气及 O 气氛下于 1300~1600 ℃烧结过程中的粉末分解质量损失、反应固溶、新相生成及孔洞形成等行为，以期 2 为高密度铟锡氧化物(ITO)靶材制备奠定基础。结果表明：在 1300~1600 ℃高温烧结中，I n O 和 SnO 均分解升华， 2 3 2 SnO 较 In O 更易于分解，增大烧结气氛的氧分压，有利于抑制分解反应的发生；在 O 气氛下，I TO粉在 1 500 ℃ 2 2 3 2 开始显著分解产生质量损失；ITO粉在 N 、空气和O 气氛中于 1 300 ℃下烧结 4 h，样品中均存在 SnO 相；于 2 2 2 1 400 ℃下烧结 4 h，SnO 相消失，In Sn O 相出现；随着烧结温度的进一步升高，In Sn O 分解消失，其分解 2 4 3 12 4 3 12 温度随烧结气氛氧分压增大而提高；在 O 气氛下烧结，所得 ITO 粉晶格常数最低，且较为稳定，颗粒收缩较均 2 匀，有利于高密度 ITO靶材制备。关键词：In O ；SnO ；烧结行为 2 3 2 中图分类号：TF12