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純水系統技術手冊;純水系統常用水質名詞解釋;4. 硬度(Hardness)： 硬度最主要來源為鈣和鎂，因此在水質分析上鈣硬度和鎂硬度兩者的總和稱 為總硬度，常用的硬度單位為ppm as CaCO3，硬度成分依能否以加熱方式去 除而被分為永久硬度和暫時硬度，永久硬度是指鈣，鎂的氯化物、矽酸鹽和硫酸 鹽等，硬度成分在水被加熱的過程中不會沉澱下來，暫時硬度主要係指碳酸 鈣，這些成分在加熱時會結晶析出形成沉澱物。 5. 酸鹼值(pH Value)： 酸鹼值是溶液中酸或鹼濃度的表示法，其定義為水中氫離子濃度的負對數 值，在25℃，中性水的酸鹼值為7，7以上至14為鹼性，7以下至0為酸性。 6. 濁度(Turbidity)： 濁度指水中引起光散射之懸浮顆粒的量；懸浮顆粒包括黏土 (Clay)2um，淤泥(Silt)2~20um及微生物等。濁度單位依測量方法可分 為三種：JTU、FTU以及NTU(Nephelometric Turbidity Unit)。NTU是唯 ???目前被美國環保署認可的方法，也是RO膜廠商一般使用的指標。 7. 淤泥污堵指數(Silt Density Index, SDI)： 濁度和淤泥密度指數都是用來表徵懸浮顆粒含量的水質項目，濁度針對 固體顆粒，懸浮密度指數則是針對不易過濾分離的膠體顆粒，因此SDI可 用於預測RO膜受到膠體污垢(Colloidal Fouling)的潛在性。 ;8. 矽石(silica，二氧化矽)： 矽石在水中的溶解度和溫度及pH值有關，pH在大約8以上時，pH值愈 高，則溶解度愈大，而在中性時，矽石的溶解度最低。由於RO膜表面的 矽石沉積幾乎不可能被清洗去除，所以RO系統濃縮液須注意不要超過矽 石的最大溶解極限。  11. 餘氯(Free Chlorine)： 餘氯(自由氯)是指氯加入水中後解離成具有強殺菌效力的HOCl(次氯酸) 或OCl的形式，由於餘氯是一種強氧化劑，因此會破壞大多數聚醯胺類 材質(RO膜的主要結構化學組成) 。 12. 總有機碳(Total Organic Carbon, T.O.C.)： 總有機碳又稱總可氧化碳，它是測定水中有機物置於燃燒室被分解成二 氧化碳的量，對於高純度的純水，總有機碳的去除和控制非常重要。 ;;;什麼是導電率(Conductivity)及阻抗值(Resistivity)？ 水中的離子含量也就是導電物質的總含量，可用電子導電率來加以表示。電子導電率，即電子流動“容易”的程度，與水中離子含量成正比關係。而阻抗值（＝比阻抗值）則表示電子流動“困難”的程度，其值隨著水中離子含量減少而增加。因此，比阻抗值與導電率呈倒數關係。由於自來水、蒸餾水中含有較多的離子，因此以導電率來表示，而超純水所含離子較少，以比阻抗值來表示。檢測原理是，在水中將距離 1 cm 的兩片表面積為 1 cm2 大小的電極加以通電，來檢測兩極間的導電率與電阻值，其單位表示如下。 比阻抗值的表示單位：M??cm（mega ohm-centimeter） 導電率的表示單位：μS/cm（micro Siemens per centimeter）;水的解離常數(Ksp)會隨著水溫而改變，因而比阻抗值會受到水溫的影響而變化（圖１）。例如，25℃的超純水，其比阻抗值為 18.2 MΩ．cm，但在 0℃時則為 84.2 MΩ．cm，100℃則為 1.3 MΩ．cm。在25℃附近時，溫度每上升1℃，其比阻抗值則下降 0.84 MΩ．cm。因此，一般使用溫度補償至 25℃的比阻抗值來做衡量標準。;;;　　　　　　　 Impurities and Removal Performance ;;純水系統流程;MMF;;;;純 水 設 備 單 元 目 的; 管路Loop的设计 根据整个FAB各User分布，UPW通过Loop送到各区域。管径应根据各区域用量进行计算。每个Loop和机台的Take-off点都必须设supply和return。整各Loop的循环水量必须大于20%，防止细菌的滋生。 Loop供水和回水应安装流量计，两者之差即为该区域的用量。UF出口压力为0.5~0.6Mpa，Loop压力通过机械压力调节阀开度来控制。Loop供应压力通常控制在0.4Mpa左右。每个Loop的回水应设电阻率仪，Loop回水的电阻率小于15MΩ.cm切去前处理。回水总管设TOC仪，如有回水出现异常状况可手动切去前处理或废水处理系统。;金属管材 C.S--碳钢管 SGP-热镀锌钢管 S.S---不锈钢管 C.S/R.L-碳钢衬胶管 ;纯水系统设计中管材的选用;纯水系统设计中管材