基于微电磁驱动的新型MEMS光开关研制-电子科学与技术专业论文.docxVIP

内容摘要／|夭I特网对通讯系统带来的数据业务爆炸性的增长，极大地推动了光纤通讯 内容摘要 ／|夭I特网对通讯系统带来的数据业务爆炸性的增长，极大地推动了光纤通讯 的发展，使其成为通讯技术的核心。光纤通讯的迅速发展，迫切需要大量的光 器件。c微机电系统(MEMs潍目前并国竞相发展的一项高新技术，采用MEMS 技术来丌发光通讯器件■具有体积小、重量轻、功耗小、成本低和性能稳定等 优点。少∥ 。、 泪前，MEMS光开蔻已成为通讯和MEMS领域的研究热点之一，面对世界 ＼ 备发达国家的激烈竞争，夕本文_在上海市科委光启动计划项目“基丁微电磁驱动，／ 的新型MEMS光开关研制”的资助下棚究丌发了)Llee新型的朋EM多光丌关，成 功解决了微驱动器研制、光开关整体结构设计和光路调整等问题。所开发的光 开关具有插入损耗低、体积小等优异性能，并已通过上海市科委组织的成果鉴 定，受到了鉴定专家的好评((见附录鉴定意见书硝” 设计制造了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器，该驱动器采用双定子单 摆盘和多线罔多磁极的轴向磁通结构，具有较大的输出力矩。微驱动器采用了 微细加T、精密制造及精密装配相结合的制造T艺。定子采用铁氧体导磁材料 基板，保证了磁路闭合。利用一套以掩模丁艺为主，配上深层光刻、溅射和干 法刻蚀为辅的非硅材料微细加丁T艺，确保了定子的加T质量。摆盘采用砬钢 片胶合钐钴永磁材料结构，并对其进行饱和充磁来提高输出力矩。 利用微电磁驱动器作为驱动源，设计制造了1x2、2x2、1x4、和l×8四种典 型的光开关。用高斯光束传输理论和矩阵光学说明了光纤通过自聚焦透镜耦合 时位置误差对耦合损耗的影响／理论分析表明，在2x2光丌关中平面反射镜会 引起很大的耦合损耗，而必须采用三角反射棱镜。实际测量了光丌关中金膜和 测量。测试结果表明，所研制的光开关具有优良的光学性能，表明其具有良好 的应用前景。 吖 关键词：光纤通讯； 光开关： 微机电系统伟证Ms劣微电磁驱动器 自聚焦透镜； 插入损耗； 划波损耗 ABSTRACTThe ABSTRACT The exDlosive increase of di酿al service of Internet makes the optic-fiber communication grow very fast．The optic-fiber communication has become the technology of communication．The rapid growth of optic-fiber communication networks creates large demand for optical components．MEMS(micro-electro— mechanical system)iS high technology for which many countries compete．The optical components developed by the MEMS technology have the merits of small size， light weight．10W power cost and on．The MEMS optic-fiber switch has become the hot point of optic．fiber communication research．Supported by Shanghai Optical Technology Project，some novel optic-fiber switches based the MEMS electromagnetic micro actuator have been developed in this report．These optic-fiber switches have the merits of small size．small insertion lOSS and This project has been iudged by the ShangItai Science and Technology Committee． A novel MEMS electromagnetic wobble type microactuator was developed．The microactuator is layer structure composed of two stators and wobble disc，which improve the OHtout torque of the microactuator．The microactuator iS fabri