扩散软件说明书-右手.pdf

L4511II-37/ZM 型 SSD8472A 软着陆闭管扩散系统 软件技术说明书 ZM412.262SM 北京七星华创电子股份有限公司 2010.11 目录 1、概述1 1.1 产品特点 1 1.2 功能 1 1.2.1 推拉舟控制 1 1.2.2 温度控制 1 1.2.3 气体流量控制 2 1.2.4 工艺控制 2 1.2.5 设备报警 2 1.2.6 报警日志 2 1.2.7 历史记录 2 1.2.8 用户日志 2 1.2.9 自动上下料控制 3 1.2.10 软着陆控制 3 2、使用说明3 2.1 开机运行 4 2.2 界面 4 2.2.1 标题区 5 2.2.2 导航区 8 3.系统界面介绍9 3.1.系统页 9 3.1.1.总系统页 9 3.1.2 各系统页 12 3.2 手动页 19 3.3 工艺页 23 3.4 曲线页 27 3.5 配置页 34 3.6 管理页 42 3.7 报警页 43 3.8 记录页 48 4、自动上下料说明55 4.1 概述 55 4.2 进入上下料主界面 55 4.3 上下料界面 56 4.3.1 上下料主界面 56 4.3.2 上下料配置页 69 4.4 上下料装置软件名词解释 73 5、软着陆介绍及注意事项74 5.1 软着陆系统介绍 74 5.2 软着陆系统注意事项 74 6、互锁条件说明75 7、操作权限76 7.1 设备工程师 76 7.2 工艺工程师 76 7.3 系统管理人员 76 7.4 操作工 77 图号 ZM412.262SM L4511II-37/ZM 型8472软着陆闭管扩散系统 第1页共 77页 1、概述 1.1产品特点 四管卧式软着陆闭管扩散软件系统界面友好，内容丰富，操作简便，功能强 大。 四管卧式软着陆闭管扩散软件系统主要包括系统页、手动页、工艺页、曲线 页、配置页、管理页、报警页、记录页，通过这些页面用户可以直观的监测到推 拉舟的状态、温度、气体流量、压差的变化情况，工艺的历史状态以及当前设备 的报警状态。该软件系统为用户提供快捷键以实现页面之间的切换，方便的按钮 以实现对运行中工艺的灵活控制，同时提供键盘输入，鼠标确认使用户可以实现 推拉舟的状态、推拉舟速度、温度、气体流量及压差的设定。 四管卧式软着陆闭管扩散软件系统通过对推拉舟、温度、气体流量、压差、 自动上下料的正确设定，实现对整个设备的控制，为磷扩工艺的顺利进行创造了 必要条件，保证了工艺质量。 1.2功能 该软件系统是基于四管卧式软着陆闭管扩散设备的控制软件，用以实现对四 管卧式软着陆闭管扩散设备的正确控制，保证磷扩工艺质量。 1.2.1 推拉舟控制 该软件系统能够根据用户的选择，输入推拉舟的状态和速度，对设备进行控 制，以满足用户的需要。该扩散软件系统能控制推拉舟启动，推拉舟可按设定的 速度和方向前进、后退、上升、下降和停止，并能提供舟到极限位的保护功能。 1.2.2 温度控制 该软件系统能够按用户的需求，正确输入温度目标值，对炉体进行控温。该 软件系统能以设定的斜率升温或降温，并能提供温度超温报警和温度极限报警。 一旦出现温度极限报警，系统能将加热按钮断开，以便保护炉体及工件。该软件 系统还具有温区自动分布功能，