全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽棸 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋 暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棻棻 暋 暋 暋 斘旓旜棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棻棻灢棽棾椄棸灢棸椆 全息光栅制作中光栅掩模槽形形状 随光刻胶特性曲线的演化规律 棳 棳 棻棽灣 棻 棻 棻棽 棳 棳 棳 韩 建 巴音贺希格 李文昊 孔 鹏 暋 暋 棬 棳 椈 棻棶中国科学院 长春光学机密机械与物理研究所 吉林 长春 棻棾棸棸棾棾 棳 棭 棽棶中国科学院大学 北京 棻棸棸棸棿椆 椇 棳 摘要 为分析光栅槽形形成的基本原理及槽形随光刻胶特性曲线的演化规律 建立了显影过程中光栅掩模槽形形成的演 暎 棳 化模型 基于光刻胶溶解速率在不同曝光量区间的变化 将光刻胶特性曲线分成 个不同区域并分析各区域在光栅掩 棾 棳 暎 椇 模槽形形成中的作用 讨论了在不同光刻胶特性曲线条件下光栅掩模槽形的演化规律 结果表明 当光刻胶非线性效应 棳 棳 椈 棳 显著时 掩模槽形易形成矩形或梯形 此时槽深由原始胶厚决定 当光刻胶线性效应较显著时 槽形形成正弦形同时槽深 暎 棳 有所减小 该模型正确反映了光栅槽形随光刻胶特性曲线变化的演化规律 为通过控制光刻胶特性曲线制作多种掩模 槽形提供了理论依据及方法暎 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 全息光栅 非线性效应 槽深 掩模槽形 光刻胶 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斚棿棾椂棶棻斣斘棾棸椀灡椃暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棻棻棶棽棾椄棸 斍旘旓旓旜斿 旘旓旀旈旍斿斿旜旓旍旛旚旈旓旑旓旀旘斸旚旈旑 旐斸旙旊旙旀旓旘 旔 旂 旂 斾旈旀旀斿旘斿旑旚旇旓旚旓旘斿旙旈旙旚旘斿旙旓旑旙斿斻旛旘旜斿旙旈旑旀斸斺旘旈斻斸旚旈旓旑旓旀 旔 旔 旇旓旍旓旘斸旇旈斻旘斸旚旈旑旙