硬质涂层的硬度及结合力的测试方法.pdf

第 卷 第 期 真 空 科 学 与 、 技 术 年 月 硬质涂层 的硬度及结合力 的测试方法 林 香祝 陈仁悟 薛玉 峨 陕西机械 学 院 年 月 日收到 甄 孤 , , 工 、 、 本文描述 了测定硬质涂层 与基体 间的结合力和 显微硬度 的方法和原理 , 用 四 点弯 曲法 扭 转法 划痕法和压痕技 术对硬质涂层 和 的结合 力进行测定和评价 , 对 显微 硬 度 也 是 涂层 的重 要 性能指标 进 行评述 。 一 、 前言 、 近十年 , 气相沉积 技术 的应 用范 围显著地扩展 一用 材广泛 包括 金属 合 金和 化 合 。 物 等 适 用面 宽 从 日常生 活 到宇航 , 核能等新技术领域 随着这种 发展 , 需要 不 。 断改进和开 发 涂层 的沉积技术 ,