硅基GaN谐振光栅及其传感应用-电子与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 南京邮电大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。 尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过 的研究成果，也不包含为获得南京邮电大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 本人学位论文及涉及相关资料若有不实，愿意承担一切相关的法律责任。 研究生签名： 日期： 南京邮电大学学位论文使用授权声明 本人授权南京邮电大学可以保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子文 档；允许论文被查阅和借阅；可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索； 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文。本文电子文档的内容和纸质 论文的内容相一致。论文的公布（包括刊登）授权南京邮电大学研究生院办理。 涉密学位论文在解密后适用本授权书。 研究生签名： 导师签名： 日期： 摘要 随着微纳米加工工艺的快速进步，制备纳米结构器件已经成为了现实。近年来，基于 GaN 材料的谐振光栅器件成为了研究的热点之一。GaN 是一种直接带隙半导体，有着优秀的压电 性能和良好的光电性能。它对温度和辐射均具有很好的忍耐性，且对许多具有腐蚀性的化学 物质均不敏感。基于以上的这些特性，GaN 光栅非常有希望运用于制造传感器件和多传感平 台，尤其运用于传统传感器件不能正常工作的恶劣环境中。 本文基于 RSOFT 软件对悬空谐振光栅的参数进行计算，并根据计算的结果对光栅的结构 和尺寸进行了优化。该软件主要基于严格耦合波理论（RCWA）。 本文描述了 GaN 悬空薄膜光栅，该谐振 GaN 光栅是在硅基 GaN 平面上制作的。该器件 GaN 层底部的硅衬底材料被完全刻蚀去除，从而实现完全悬空的 GaN 薄膜光栅。因此，悬空 GaN 光栅上下就会完全被低折射率的空气所包围，满足全反射条件，光会被限制在光栅层内， 当相位匹配时可产生显著的谐振效应。同时，去除硅衬底还可以防止因为衬底而导致的额外 光学损耗。并且还采用了背后减薄工艺，对 GaN 薄膜的厚度进行减薄，这使得该悬空器件具 有低损耗、高反射率、谐振性能优异等特性。同时，该器件的谐振特性对介质环境的折射率 非常敏感，因此能够以该光栅为模板，来设计工作在可见光波段、适用于各种环境的折射率 传感器。本文采用了角分辨微反射系统对器件进行测试，测试结果与模拟的结果完全一致。 关键词: 氮化镓，谐振光栅，折射率传感器，严格耦合波理论 I Abstract With the rapid development of micro and nano processing technology, making the preparation of nanostructured devices a reality. In recent years, GaN-based grating devices has become one of the hot research. GaN is a direct bandgap semiconductor with remarkable piezoelectric and favorable optoelectronic properties. It is a temperature tolerant and radiation-hardened material and chemically inert to many corrosive chemicals, making it a promising material for fabricating sensor components and multi-sensing platforms that operate within a harsh environment. By the aid of software Rsoft, all parameters of suspended GaN gratings are calculated. According to the simulation results, the parameters of the gratings are designed and optimized. The software is based on rigorous coupled-wave theory (RCWA) method . This paper design the nanofabrication process steps, combine with silicon a