光纤法珀高温加速度计的研究-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘要 摘 要 光纤传感器由于其本身特有的优势，如结构简单、体积小、无电磁干扰，在 航空航天、能源、建筑等工业和军事领域得到了广泛的应用。 光纤传感技术作为新时代科技发展的产物，自从 1970 年康宁公司（Corning Glass Corporation）首次制出可商用化的光纤（衰减小于 20dB/km）至今，已经逐 渐形成一个实用化的产业，在国防、军事、民用、能源、交通、医疗等领域广泛 应用，目前研制成功的就有 70 多种。根据光纤传感技术的发展趋势分析，当前的 任务主要有：一方面，在积极研发新型传感器的同时，将传感器的功能进行整合， 提高其工作效率；另一方面，将实验室研究成果推广到实际应用，用以解决工程 问题。 光纤法布里-珀罗传感器灵敏度高、可靠性好，应用广泛。本论文中的加速度 计是基于光纤法布里-珀罗干涉仪来测量加速度的。由于其全石英材料，且是双腔 结构，不仅可以在高温下测量加速度，还同时可以测得所使用环境的温度。 本论文首先阐述了加速度计的测量原理、结构设计方法。利用 ANSYS 软件模 拟加载加速度时不同结构腔长的变化，从而对加速度计的结构进行优化。采用 157nm 准分子激光器加工出模拟计算的最优结构。通过实验得出双臂结构的加速 度计的灵敏度为 1.76rad/g，最小可探测的加速度为 10mg。单臂结构的灵敏度为 13.09rad/g，最小可探测的加速度为 6mg。 关键词：光纤加速度计，157 nm 激光，ANSYS I ABSTRACT ABSTRACT Optical fiber sensors have many special advantages, such as simple structure, small size, free from electromagnetic interference, which are widely applied to industrial and military fields including aerospace, energy, architecture, etc. Fiber Optical Sensing Technology, as a product of the technological development of the new world, has been developed a practical industry since Corning Incorporated manufactured useful optical fiber in 1970s. There are now more than 70 kinds of optical fiber sensors, which are widely used in areas such as military, civilian, energy, traffic, healthcare industries etc. According to the analysis of the trend of Fiber Optical Sensing Technique, one of our main tasks is to develop new sensors that have more features; the other one is to push findings into practice to solve real problems. Optical fiber Fabry-Perot sensors are widely applied for their high sensitivity and good reliability. The accelerometer in the