双壳层靶丸金属层电沉积装置设计-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２７ ３ Ｖｏｌ．２７ Ｎｏ．３ 　 　 年 月 ， ２０１５ ３ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｍａｒ． ２０１５ 　 　 双壳层靶丸金属层电沉积装置设计 张云望， 卢春林， 尹 强， 张 林， 唐道润 　 　 　 　 　 　 （中国工程物理研究院 激光聚变研究中心，四川 绵阳 ６２１９００） 摘 要： 设计了一种新型双壳层靶丸金属层电沉积装置，借助计算机模拟了其设计原理，分析了微球的 　　 　 　 运动及镀层的生长模式，介绍了其各部分结构和功能。借助理论计算，确定了镀槽的整体尺寸，其中槽体半径 确定为 ５ｃｍ。镀槽的特殊结构使微球上部镀层沉积速度较快，结合小球的自转及围绕圆柱体的公转运动实现 镀层均匀沉积。镀液及微球的运动模式使镀液流速合并了主盐浓度、小球平动速度、小球转动速度三个关键参 数，简化了对沉积过程的控制。在新旧装置上进行了电沉积实验，制备出了镀层厚度分别为 和 的 ９ ｍ ２ ｍ μ μ 空心金微球，结果表明：使用设计的装置可制备表面质量良好、厚度均匀且可控的金属微球，镀层厚度由沉积时 间、金属层密度、镀液比重、微球芯轴的等效密度等决定。 关键词： 双壳层靶； 电沉积； 装置设计 　　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ６４６．５４１ Ａ 犱狅犻１０．１１８８４ＨＰＬＰＢ２０１５２７．０３２０３１ 　　 　 　　　　 　 　　 在美国国家点火装置（ ）上的聚变点火研究中，双壳层（ ）靶被当作一个重要的备选靶型，作为以低温 ＮＩＦ ＤＳ 　　 靶为核心的点火方案的补充。与低温靶相比，双壳层靶不需要制备固态氘氚（ ）冰层，可以降低点火温度（约 ＤＴ ４ｋｅＶ），具有较低的内爆速率，而且对收缩比和压缩对称性要求低，因此，近年双壳层靶的制备技术研究开始 ［ ］ １５ 引起 ＩＣＦ研究工作者的广泛重视 。在双壳层靶的原型设计中，内层球体需充入 ８００ＭＰａ的氘氚气体，因此 要求构成内壳层的金属具有足够高的强度。而根据霍尔 佩奇效应，在金属的晶粒尺寸减小至极限值  （ ）之前，材料强度随着材料晶粒尺寸的降低而增大。制备具有如此小晶粒和高强度的膜层，只有电 １０ ２０ｎｍ ～ 沉积法能做到。美国采用电沉积法制备出了晶粒特征尺寸约 ２０ｎｍ、具有约 ６００ＭＰａ抗拉强度的双壳