硅微机械谐振式陀螺仪测控技术研究-精密仪器及机械专业论文.docx

摘要摘要 摘要 摘要 随着微电子科学和微型制造技术的发展，硅微机械陀螺仪的性能不断提高，与传统的机电类陀 螺仪和光电类陀螺仪相比，它具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性好、测量范围大等优 点，在军民两用领域都有着重要的应用价值和广泛的应用前景。目前，硅微机械陀螺仪常采用电容 检测方式，即通过测量其检测极板上的电容变化量而获取角速度信息。该方式对机电接口的寄生电 容和电阻非常敏感。这是因为硅微陀螺仪中需要测量的位移非常微小，对应的电容变化量在10一9F， 电容相对变化量AC／C也为10～，而周围环境的寄生电容为几个口F，检测输出信号的信噪比非常低。 硅微机械谐振式陀螺仪是将谐振式传感器的工作原理应用到陀螺仪的检测方式中，输出信号是频率 信号，抗干扰性好，具有准数字式传感器的特点，避免了电容检测方式中输出信号的低信噪比问题。 本文以硅微机械谐振式陀螺仪为研究对象，致力于测控方法的研究及其测控电路的设计，包括 理论分析、电路设计与实现以及性能测试等。论文的主要工作概括为以下几个方面： 首先，本文对目前国内外几种典型的谐振式传感器进行了概述，研究了谐振式传感器的检测方 式，分析了各自的优缺点。给出了一种硅微机械谐振式陀螺仪静电驱动、频率检测的结构形式，并 阐述了其工作机理。通过对双端音叉谐振器(DETF)谐振梁的横向振动运动分析，得出了输出信号 最大频偏与输入角速度之间的关系。推导了