光电位置传感器PSD特性及其应用-浙江大学光电学院.PDF

第 24 卷　第 45 期 　　 光　学　仪　器 V o l. 24,N o. 45 　2002 年 8 月 O PT ICAL IN STRUM EN T S A ugust, 2002 ( ) 文章编号: 1005- 5630 2002 45- 0030- 04 光电位置传感器 PSD 特性及其应用 曾　超, 李　锋, 徐向东 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027) 　　摘要: 对光电位置传感器 PSD 的结构、工作原理、特性进行了分析和概述; 并介绍了 PSD 在二维定位测量中的应用; 最后分析了造成系统误差的主要原因。 关键词: 位置传感器; 光电器件 中图分类号: T P 212 14　　　文献标识码:A Character isitics of optoelectron ic position sen sitive detector and its applica tion , , Z EN G Chao L I F eng X U X iang d ong (State Key L abo rato ry of M odern Op tical Instrum entation, Zhejiang U niversity, H angzhou 310027, Ch ina) 　　Abstract: T he arch itectu re, p rincip le and characters of po sition sen sitive detecto r are analyzed and . . ou tlined in the paper T he app lication of PSD in tw o dim en sion po sition m easu rem en t is in troduced T he system erro rs are also analyzed. : , Key words po sition sen sitive detecto r op toelectron ic device 1　引　言 高灵敏度光电位置传感器 PSD (Po sition Sen sitive D etecto r) 是一种新型的光电器件, 或称为坐标光 电池, 它是一种非分割型器件, 可将光敏面上的光点位置转化为电信号。当一束光射到 PSD 的光敏面上 时, 在同一面上的不同电极之间将会有电流流过, 这种电压或电流随着光点位置变化而变化的现象就是半 导体的横向光电效应。因此利用PSD 的pn 结上的横向光电效应可以来检测入射光点的照射位置。它不像 传统的硅光电探测器只能作为光电转换、光电耦合、光接收和光强测量等方面的应用; 而能直接用来测量 位置、距离、高度、角度和运动轨迹等。它与阵列式图像传感器也不一样, 不像固态图像传感器的测量表面 由于敏感单元有一定大小而存在死区; PSD 器件能连线检测光点的位置, 没有死区分辨力高, 适配电路简 单等特点; 正日益引起人们的重视。 2　二维 PSD 的结构和工作原理