光纤光栅应变传感器预紧封装及传感特性研究-激光与红外杂志.PDF

第４６卷　 第９期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４６，Ｎｏ．９ 　 ２０１６年９月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ，２０１６ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１６）０９１１２８０５ ·光纤及光通讯技术 · 光纤光栅应变传感器预紧封装及传感特性研究 １ １ １，２ １ 陈　昊 ，闫　光 ，庄　炜 ，祝连庆 （１北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心，光电测试技术北京市重点实验室， 生物医学检测技术及仪器北京实验室，北京 １００１９２；２合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥２３０００９） 摘　要：介绍了一种具有预紧力的基片式光纤光栅应变传感器封装方法，并根据Ａｎｓｙｓ建模及 实验对其传感性能进行研究。使用宽１０ｍｍ，长２２ｍｍ，厚１ｍｍ的铝合金７０７５－Ｔ６材质基片 对光纤光栅进行预紧封装，所得带预紧封装传感器灵敏系数为１０５ｐｍ／ ，线性度达到０９９ με 以上。表明预紧封装基片式光纤光栅应变传感器具有良好的线性度和应变测试灵敏度，对光 纤光栅传感器封装工艺有指导作用。 关键词：光纤光栅；预紧封装；应变；传感器 中图分类号：ＴＮ２５３　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１６．０９．０２１ Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｐｒｅｌｏａｄｐａｃｋａｇｅａｎｄｓｅｎｓｉｎｇｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆｆｉｂｅｒＢｒａｇｇｇｒａｔｉｎｇｓｔｒａｉｎｓｅｎｓｏｒ １ １ １，２ １ ＣＨＥＮＨａｏ，ＹＡＮＧｕａｎｇ，ＺＨＵＡＮＧＷｅｉ ，ＺＨＵＬｉａｎｑｉｎｇ （１ＢｅｉｊｉｎｇＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇｋｅｙｌａｂｏｒａｔｏｒｙｆｏｒ ＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＢｅｉｊｉｎｇＬａｂｏｒａｔｏｒｙｆｏｒＢｉｏｍｅｄｉｃａｌＤｅｔｅｃｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ ＢｅｉｊｉｎｇＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１００１９２，Ｃｈｉｎａ； ２ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｅｆｅｉ２３０００９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＡｐａｃｋａｇｅｍｅｔｈｏｄｏｆｓｕｂｓｔｒａｔｅｆｉｂｅｒＢｒａｇｇｇｒａｔｉｎｇｓｔｒａｉｎｓｅｎｓｏｒｗｉｔｈｐｒｅｌｏａｄｗａｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ，ａｎｄｉｔｓｓｅｎｓｉｎｇ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄｂｙＡｎｓｙｓａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓＴｈｅｐｒｅｌｏａｄｐａｃｋａｇｅｗａｓｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｆｏｒｆｉｂｅｒＢｒａｇｇｇｒａｔｉｎｇｂｙ ｕｓｉｎｇａｌｕｍｉｎｉｕｍａｌｌｏｙ７０７５－Ｔ６ｓｕｂｓｔｒａｔｅｗｉｔｈ１０ｍｍｗｉｄｔｈ，２２ｍｍｌｅｎｇｔｈａｎｄ１ｍｍｔｈｉｃｋｎｅｓｓ，ａｎｄｔｈｅｓｅｎｓｏｒｓｅｎｓｉ ｔｉｖｉｔｙｏｆ１０５ｐｍ／μεｉｓｏｂｔａｉｎｅｄ，ａｎｄｔｈｅｌｉｎｅａｒ