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AN4428 应用笔记 MEMS 麦克风生产过程中的最佳实践 前言 本应用笔记可作为MEMS 麦克风生产过程中最佳实践的参考。为实现高可靠性的设备，ST 生产过程已经经过仔细研究和发展，因此这些产品已经经历了详细的质量和可靠性测试。 第 1 节：质量保证详细说明了对麦克风执行的各种测试。 本文还就在由客户执行的过程中，如何适当管理麦克风提供了建议，包括接收后验证设备、 适当处理设备以及生产线方面的考虑。 2015 年11 月 DocID025706 Rev 1 [English Rev 1] 1/18 目录 AN4428 目录 1 质量保证 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1 可靠性测试 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.1 HTOL：高温工作寿命 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.2 HTS：高温储存 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.3 PC （JL3）：前提条件（焊接模拟） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.4 TC：温度循环 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.5 静电放电（人体模型、机器模型、 充电设备模型） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.6 LU （CI）：闭锁（过电压和电流注入） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 1.1.7 THB：温湿度偏置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .